[实用新型]一种MOCVD加热装置

权利要求书

1.一种MOCVD加热装置，用于MOCVD设备，所述MOCVD设备包括电极端子，其特征在于，所述加热装置包括加热件和紧固件，所述加热件包括加热部以及设于所述加热部两端的连接部；

所述连接部和所述电极端子的安装部上设有相互对应的第一安装孔和第二安装孔，所述紧固件用于穿设所述第一安装孔和所述第二安装孔将所述加热件连接于两个所述电极端子上；

其中，所述第一安装孔和所述第二安装孔的其中一个上设有向边缘延伸的调节部，当所述加热件连接于所述电极端子上时，通过移动所述加热件，以使穿设于所述第一安装孔与所述第二安装孔之间的所述紧固件向所述调节部的延伸方向过渡，以使所述加热件可相对于所述电极端子进行移动。

2.根据权利要求1所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述加热部的两端均设有所述连接部，且每个所述连接部均通过所述紧固件与所述电极端子的安装部连接。

3.根据权利要求2所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述加热件设有多个，且多个所述加热件围合呈封闭结构。

4.根据权利要求3所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述第一安装孔和所述第二安装孔均设有多个，且每个所述第一安装孔与每个所述第二安装孔相对设置。

5.根据权利要求1所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述安装部上设有所述第二安装孔，且所述调节部设于所述第二安装孔上。

6.根据权利要求5所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述第一安装孔设于所述连接部上，当部分所述紧固件位于所述调节部的边缘时，所述调节部的边缘与所述第一安装孔的边缘重叠。

7.根据权利要求6所述的MOCVD加热装置，其特征在于：当所述加热件连接于所述电极端子上时，所述连接部相对于所述安装部的投影位于所述安装部的上表面的范围之内。

8.根据权利要求1所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述紧固件包括紧固部和限位部，当所述紧固件穿设所述第一安装孔和所述第二安装孔时，所述紧固部位于所述第一安装孔和所述第二安装孔之内，所述限位部位于所述第一安装孔和所述第二安装孔之外。

9.根据权利要求1所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述连接部与所述加热部的连接面呈弧形设置。

10.根据权利要求1-9任一项所述的MOCVD加热装置，其特征在于：所述加热部与所述连接部一体成型。