[实用新型]一种MOCVD加热装置

说明书

本实用新型公开了一种MOCVD加热装置，涉及加热装置技术领域，该MOCVD加热装置用于MOCVD设备，MOCVD设备包括电极端子，加热装置包括加热件和紧固件，加热件包括加热部和连接部，连接部和电极端子的安装部上设有相互对应的第一安装孔和第二安装孔，其中，第一安装孔和第二安装孔的其中一个上设有向边缘延伸的调节部，当加热件连接于电极端子上时，通过移动加热件，以使穿设于第一安装孔与第二安装孔之间的紧固件向调节部的延伸方向过渡，以使加热件可相对于电极端子进行移动。通过该设置，实现可将加热件与石墨盘的边缘对齐，以保障对石墨盘最外圈的温度，解决外圈晶圆受热不均匀的问题。

技术领域

本实用新型涉及加热装置技术领域，具体为一种MOCVD加热装置。

背景技术

MOCVD设备是一种发光二极管生产设备，设备生产过程中石墨盘高速转动，气体垂直吹向石墨盘上的衬底进行化学沉积，反应后的气体通过石墨盘外圈的集气环排出。

为实现对石墨盘的加热处理，需在石墨盘的底部设置加热丝，现有的加热丝一般通过螺栓将其连接于电极端子上；其中，电极端子属于MOCVD设备中的部件，通过电极端子将电能传递于加热丝上，从而实现通过加热丝对石墨盘进行加热处理。为实现对加热丝的安装，现有的电极端子和加热丝上设置有供螺栓伸入，且相互对应的安装孔。

然而，现有加热丝的安装位置距离石墨盘的边缘具有一定的距离，采用现有的安装方式，容易导致石墨盘最外圈温度偏低，造成外圈晶圆受热不均匀的问题。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种MOCVD加热装置，以解决背景技术中现有加热丝的安装位置距离石墨盘的边缘具有一定的距离，采用现有的安装方式，容易导致石墨盘最外圈温度偏低，造成外圈晶圆受热不均匀的问题。

本实用新型的在于提供一种MOCVD加热装置，用于MOCVD设备，所述MOCVD设备包括电极端子，所述加热装置包括加热件和紧固件，所述加热件包括加热部以及设于所述加热部两端的连接部；

所述连接部和所述电极端子的安装部上设有相互对应的第一安装孔和第二安装孔，所述紧固件用于穿设所述第一安装孔和所述第二安装孔将所述加热件连接于两个所述电极端子上；

其中，所述第一安装孔和所述第二安装孔的其中一个上设有向边缘延伸的调节部，当所述加热件连接于所述电极端子上时，通过移动所述加热件，以使穿设于所述第一安装孔与所述第二安装孔之间的所述紧固件向所述调节部的延伸方向过渡，以使所述加热件可相对于所述电极端子进行移动。

进一步地，所述加热部的两端均设有所述连接部，且每个所述连接部均通过所述紧固件与所述电极端子的安装部连接。

进一步地，所述加热件设有多个，且多个所述加热件围合呈封闭结构。

进一步地，所述第一安装孔和所述第二安装孔均设有多个，且每个所述第一安装孔与每个所述第二安装孔相对设置。

进一步地，所述安装部上设有所述第二安装孔，且所述调节部设于所述第二安装孔上。

进一步地，所述第一安装孔设于所述连接部上，当部分所述紧固件位于所述调节部的边缘时，所述调节部的边缘与所述第一安装孔的边缘重叠。

进一步地，当所述加热件连接于所述电极端子上时，所述连接部相对于所述安装部的投影位于所述安装部的上表面的范围之内。

进一步地，所述紧固件包括紧固部和限位部，当所述紧固件穿设所述第一安装孔和所述第二安装孔时，所述紧固部位于所述第一安装孔和所述第二安装孔之内，所述限位部位于所述第一安装孔和所述第二安装孔之外。

进一步地，所述连接部与所述加热部的连接面呈弧形设置。

进一步地，所述加热部与所述连接部一体成型。