[实用新型]一种矩阵式键合夹具有效

专利信息
申请号: 202222618313.6 申请日: 2022-10-06
公开(公告)号: CN218677106U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 陈建波;李阳;夏良;刘永鹏;窦靖;罗国敏 申请(专利权)人: 贵州振华风光半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 贵阳中工知识产权代理事务所 52106 代理人: 刘安宁
地址: 550018 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 一种 矩阵 式键合 夹具
【权利要求书】:

1.一种矩阵式键合夹具,其特征在于,包括:底座(1)、偏心轴锁紧装置(2)、载具(3)、盖板(4);

在所述底座(1)上安装有偏心轴锁紧装置(2),再在安装有偏心轴锁紧装置(2)的底座(1)上安装载具(3),在载具(3)上放置产品后,在放置产品后的载具(3)上安装盖板(4);

所述底座(1)包括底座本体(101)、底座固定螺孔(102)、底座真空导流孔(103)、底座定位销孔(104)、定位块(105)、偏心轴穿孔(106)、底座偏心轴锁紧装置固定孔(107)、偏心轴定位孔(108);底座本体(101)为长方体;底座固定螺孔(102)分布在底座本体(101)的4个直角区域;底座真空导流孔(103)为2个以上,贯穿底座本体(101),分布在底座本体(101)的空隙区域;底座定位销孔(104)分布在底座本体(101)的长度方向两端近边缘区域;定位块(105)为若干个,分布在底座本体(101)的宽度方向两边及长度方向右边;偏心轴穿孔(106)位于底座本体(101)长度方向前边中心位置,底座偏心轴锁紧装置固定孔(107)与偏心轴锁紧装置固定孔(209)一一对应,偏心轴定位孔(108)用于经过定位柱(203)固定偏心轴(206);

所述偏心轴锁紧装置(2)包括偏心轴锁紧装置本体(201)、旋转压块(202)、定位柱(203)、压块锁紧机构(204)、弹簧固定块(205)、偏心轴(206)、弹簧(207)、偏心轴固定座(208)、偏心轴锁紧装置固定孔(209);偏心轴锁紧装置本体(201)的左右两端呈环弧形,前后两边平行;旋转压块(202)、压块锁紧机构(204)、弹簧固定块(205)及弹簧(207)组成锁紧装置,锁紧装置分布于偏心轴锁紧装置本体(201)的边角区域;定位柱(203)用于通过偏心轴定位孔(108)固定偏心轴(206),偏心轴(206)的后端固定在偏心轴固定座(208)中;偏心轴锁紧装置固定孔(209)与底座偏心轴锁紧装置固定孔(107)相对应;

所述载具(3)包括载具本体(301)、磁铁安装孔(302)、产品固定装置(303)、压块锁紧机构避位孔(304)及载具定位销孔(305);载具本体(301)呈长方体,左端中央区域呈U字形,在载具本体(301)长度方向中央区域制作左端贯通的长方形底部平面腔体;磁铁安装孔(302)为若干个,分布于载具本体(301)平面腔体的空隙内,磁铁安装孔(302)安装有磁铁,磁性连接载具(3)和盖板(4);产品固定装置(303)为若干个,分布于载具本体(301)平面腔体的空隙内,排列为若干行和若干列,呈矩阵式分布;压块锁紧机构避位孔(304)分布于载具本体(301)的前后两边区域,连接载具和底座上偏心轴的压块机构;定位销孔(305)与底座定位销孔(104)一一对应,通过定位销固定底座(1)和载具(3);

所述盖板(4)包括盖板本体(401)、产品避位孔(402)及盖板锁紧螺孔(403);产品避位孔(402)与产品固定装置(303)一一对应。

2.如权利要求1所述的一种矩阵式键合夹具,其特征在于,所述矩阵式分布为6列×2行的矩形结构。

3.如权利要求1所述的一种矩阵式键合夹具,其特征在于,所述盖板(4)为不锈铁。

4.如权利要求1所述的一种矩阵式键合夹具,其特征在于,所述底座固定螺孔(102)为4个,与M4螺丝配合使用。

5.如权利要求1所述的一种矩阵式键合夹具,其特征在于,所述底座真空导流孔(103)为两个,底座定位销孔(104)为两个,与定位销配合使用。

6.如权利要求1所述的一种矩阵式键合夹具,其特征在于,所述压块锁紧机构(204)为4个,旋转压块(202)为4个,弹簧固定块(205)为4个,弹簧(207)为4个,组成4个锁紧装置。

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