[实用新型]一种晶圆烘干装置

权利要求书

1.一种晶圆烘干装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的一侧开设有出料口(2)，所述出料口(2)的外侧设置有箱门(3)，所述箱体(1)的顶部一侧固定安装有第一伺服电机(4)，所述第一伺服电机(4)的输出端传动连接有丝杆(5)，所述丝杆(5)的两端转动连接在所述箱体(1)内，所述丝杆(5)的圆周上螺纹连接有传动块(6)，所述传动块(6)的下表面固定安装有加热管(7)，所述箱体(1)的顶部开设有若干组出气孔(8)，所述箱体(1)的底部固定设置有底座(9)，所述底座(9)的上表面固定设置有滑轨(10)，所述滑轨(10)上滑动连接有第一滑块(11)，所述第一滑块(11)的上表面焊接有支撑板(12)，所述支撑板(12)的上表面焊接有固定块(13)，所述固定块(13)上转动连接有转轴(14)，所述转轴(14)的圆周上固定套接有套筒(15)，所述套筒(15)的一侧焊接有放置板(16)，所述放置板(16)的上表面开设有放置槽(17)，所述固定块(13)的外表面固定设置有第二伺服电机(18)，所述第二伺服电机(18)的输出端与所述转轴(14)的一端传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干装置，其特征在于：所述箱门(3)的底部与所述箱体(1)铰接，所述箱门(3)的外侧固定设置有把手(19)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干装置，其特征在于：所述箱体(1)的内部之间焊接有导杆(20)，所述导杆(20)贯穿所述传动块(6)且所述传动块(6)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干装置，其特征在于：所述丝杆(5)的两侧均设置有限位块(21)，所述限位块(21)与所述丝杆(5)转动连接，所述限位块(21)的顶部固定设置在所述箱体(1)的顶壁上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干装置，其特征在于：所述支撑板(12)的下表面另一端焊接有第二滑块(22)，所述第二滑块(22)的底部滑动设置在所述滑轨(10)上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干装置，其特征在于：所述第一滑块(11)的内表面焊接有横杆(23)，所述横杆(23)的下表面焊接有纵杆(24)，所述箱体(1)的内壁上固定安装有伺服电缸(25)，所述伺服电缸(25)的输出端与所述纵杆(24)的表面固定连接。