[实用新型]一种单晶硅棒斜度检测机

权利要求书

1.一种单晶硅棒斜度检测机，包括承重机构(1)，其特征在于：所述承重机构(1)底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构(7)，所述承重机构(1)上表面一侧中心位置固定连接有调节机构(3)，所述调节机构(3)的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件(4)，所述承重机构(1)底部中心位置固定连接有承载机构(5)，所述承载机构(5)底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构(6)，所述升降机构(6)的上表面固定连接有放置机构(2)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述承重机构(1)包括通槽(11)和承重板(12)，所述承重板(12)上表面两侧的中心位置均开设有通槽(11)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述放置机构(2)包括防滑垫(21)、放置板(22)和支撑块(23)，所述支撑块(23)底部的中心位置固定连接有安装盘(61)，所述支撑块(23)上表面中心位置固定连接有放置板(22)，所述放置板(22)上表面的中心位置设置有防滑垫(21)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述调节机构(3)包括丝杆电机(31)、U型安装板(32)和底板(36)，所述底板(36)固定连接在承重板(12)上表面一侧的中心位置，所述底板(36)上表面的中心位置固定连接有U型安装板(32)，所述U型安装板(32)上表面的中心位置固定连接有丝杆电机(31)，所述丝杆电机(31)的输出轴一端穿过U型安装板(32)的上表面与转动丝杆(33)固定连接，所述转动丝杆(33)的一端穿过滑块(35)上表面内壁上的螺纹孔转动连接在轴承座(37)的内壁上，所述轴承座(37)固定连接在底板(36)上表面中心位置的一侧，所述底板(36)上表面中心位置的另一侧固定连接有限位杆(34)，所述限位杆(34)的一端穿过滑块(35)上的通孔与U型安装板(32)上表面的内壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述斜度测量组件(4)包括固定安装板(41)和斜度测量传感器(42)，所述固定安装板(41)固定连接在滑块(35)一侧外壁的中心位置上，所述固定安装板(41)一侧外壁的中心位置固定连接有斜度测量传感器(42)，且斜度测量传感器(42)用于在滑块(35)的带动下贴合待测量的晶棒端面。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述承载机构(5)包括条形安装板(51)和U型承载板(52)，所述U型承载板(52)上表面的两侧均固定连接有条型安装板，所述条形安装板(51)固定连接在承重板(12)底部两侧的中心位置。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述升降机构(6)包括安装盘(61)、液压伸缩杆(62)和液压缸(63)，所述液压缸(63)固定连接在U型承载板(52)底部两侧的中心位置，所述液压缸(63)的上表面固定连接有液压伸缩杆(62)，所述液压伸缩杆(62)的一端穿过U型承载板(52)的底部与安装盘(61)底部的中心位置固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述支撑机构(7)包括圆形安装板(71)、支撑腿(72)和底座(73)，所述圆形安装板(71)固定连接在承重板(12)底部的四个拐角处，所述圆形安装板(71)底部的中心位置固定连接有支撑腿(72)，所述支撑腿(72)的底部固定连接有底座(73)。