[实用新型]一种单晶硅棒斜度检测机有效
申请号: | 202222640377.6 | 申请日: | 2022-10-08 |
公开(公告)号: | CN218443879U | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 陈浩 | 申请(专利权)人: | 杭州固方机电有限公司 |
主分类号: | G01C9/00 | 分类号: | G01C9/00;G01C9/02 |
代理公司: | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人: | 周炤隆 |
地址: | 310000 浙江省杭州市余杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 斜度 检测 | ||
本实用新型公开了一种单晶硅棒斜度检测机,涉及单晶硅加工技术领域。本实用新型包括承重机构,承重机构底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构,承重机构上表面一侧中心位置固定连接有调节机构,调节机构的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件,承重机构底部中心位置固定连接有承载机构,承载机构底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构,升降机构的上表面固定连接有放置机构。本实用新型通过斜度测量组件的设置,解决了现有的只能检测截面斜度的问题,通过放置机构的设置,解决了现有的不方便对直径较小的单晶硅棒进行测量的问题。
技术领域
本实用新型属于单晶硅加工技术领域,特别是涉及一种单晶硅棒斜度检测机。
背景技术
直拉单晶硅生长完成后呈圆棒状,而太阳能电池需要利用硅片,因此,单晶硅生长完成后需要进行机械加工,在出厂前需要对单晶硅棒的斜度进行检测,以保证后期切割出来的许多单晶硅片之间没有超出出厂要求范围的误差。
现有公开号为CN107764188A,申请日为2017.09.20的文件中公开了一种单晶硅棒长度和斜度检测装置及其检测方法,包括移动上下料装置和检测装置,还包括安装在检测装置上的对中及斜度测量组件和长度测量组件。
1、上述提到的一种丝线编织用牵引装置在使用时,上述文件中提到手爪上装有斜度测量传感器,该斜度测量传感器用于在手爪的带动下贴合待测量的晶棒端面,通过对中及斜度测量组件检测单晶硅棒截面斜度,只能检测单晶硅棒截面的斜度,对单晶硅棒后期切片大小是否统一没有实质性的帮助;
2、上述提到的一种丝线编织用牵引装置在使用时,上述文件中提到链条机上设有托盘,将单晶硅棒2放置在托盘上,托盘是分成前后两部分的,两个托盘之间会有较大的间隙,托盘只能对直径较大的单晶硅棒进行放置,且当单晶硅棒的直径较小时,也不方便单晶硅棒斜度的检测。
因此,现有的单晶硅棒斜度检测机,无法满足实际使用中的需求,所以市面上迫切需要能改进的技术,以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒斜度检测机,通过斜度测量组件的设置,解决了现有的只能检测截面斜度的问题,通过放置机构的设置,解决了现有的不方便对直径较小的单晶硅棒进行测量的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
本实用新型为一种单晶硅棒斜度检测机,包括承重机构,承重机构底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构,承重机构上表面一侧中心位置固定连接有调节机构,调节机构的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件,承重机构底部中心位置固定连接有承载机构,承载机构底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构,升降机构的上表面固定连接有放置机构。
进一步地,承重机构包括通槽和承重板,承重板上表面两侧的中心位置均开设有通槽,在使用过程中,通槽可以使得放置机构在其内部顺利的升降。
进一步地,放置机构包括防滑垫、放置板和支撑块,支撑块底部的中心位置固定连接有安装盘,支撑块上表面中心位置固定连接有放置板,放置板上表面的中心位置设置有防滑垫,在使用过程中,防滑垫会防止防止在其上的单晶硅棒滑落。
进一步地,调节机构包括丝杆电机、U型安装板和底板,底板固定连接在承重板上表面一侧的中心位置,底板上表面的中心位置固定连接有U型安装板,U型安装板上表面的中心位置固定连接有丝杆电机,丝杆电机的输出轴一端穿过U型安装板的上表面与转动丝杆固定连接,转动丝杆的一端穿过滑块上表面内壁上的螺纹孔转动连接在轴承座的内壁上,轴承座固定连接在底板上表面中心位置的一侧,底板上表面中心位置的另一侧固定连接有限位杆,限位杆的一端穿过滑块上的通孔与U型安装板上表面的内壁固定连接,在使用过程中,滑块内壁上的内螺纹与转动丝杆外壁上的外螺纹螺纹啮合连接。
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