[实用新型]一种制备晶圆钻石整理器过程的模具有效
申请号: | 202222648608.8 | 申请日: | 2022-10-08 |
公开(公告)号: | CN218615009U | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 颜冠致;李文华;毛长虹 | 申请(专利权)人: | 合肥铨得合半导体有限责任公司 |
主分类号: | B29C39/26 | 分类号: | B29C39/26;B29C39/36 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 231272 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 钻石 整理 过程 模具 | ||
1.一种制备晶圆钻石整理器过程的模具,包括模具(1),其特征在于,所述模具(1)的下侧内壁放置有升降板(2),所述升降板(2)的下侧设有升降机构; 所述升降机构包括固定连接在模具(1)下侧壁的安装筒(6),所述安装筒(6)的内壁通过轴承转动连接有螺纹筒(7),所述螺纹筒(7)内螺纹套接有螺纹杆(8),所述模具(1)的下侧壁开设有与螺纹杆(8)相互匹配的开口,所述螺纹杆(8)的上端通过开口且与升降板(2)的下侧壁固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种制备晶圆钻石整理器过程的模具,其特征在于,所述螺纹筒(7)的杆壁固定套设有锥齿圈(9),所述模具(1)的下侧壁固定连接有两个支撑板(10),位于右侧所述支撑板(10)和安装筒(6)的侧壁转动连接有同一根控制杆(11),所述控制杆(11)的左端固定连接有锥齿轮(12),所述控制杆(11)的右端固定连接有把手(13)。
3.根据权利要求2所述的一种制备晶圆钻石整理器过程的模具,其特征在于,所述把手(13)靠近支撑板(10)的侧壁固定连接有摩擦环(14)。
4.根据权利要求1所述的一种制备晶圆钻石整理器过程的模具,其特征在于,所述安装筒(6)的内壁固定连接有两个限位板(15),所述螺纹杆(8)的杆壁开设有两个与限位板(15)相互匹配的限位槽(16)。
5.根据权利要求1所述的一种制备晶圆钻石整理器过程的模具,其特征在于,所述升降板(2)的外壁固定套设有密封圈(17)。
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