[实用新型]一种制备晶圆钻石整理器过程的模具

说明书

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种制备晶圆钻石整理器过程的模具，包括模具，所述模具的下侧内壁放置有升降板，所述升降板的下侧设有升降机构。本实用新型能够在制造好钻石整理器后，方便将制造好的钻石整理器从模具内取出，提高了钻石整理器制造的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种制备晶圆钻石整理器过程的模具。

背景技术

晶片的研磨采用钻石整理器进行研磨，钻石整理器有基体，基体上表面嵌入有钻石，钻石上表面平齐，钻石约一半露在外面，通过钻石尖棱，对晶圆进行研磨，使得晶圆片平整。

在制造钻石整理器时，需要将石膏层先倒入模具内，然后在石膏层上表面放置钻石，然后在钻石的上方倒入合成树脂，然后等待凝固后取出，由于是在模具内进行制造的，在石膏层和合成树脂凝固后不容易从模具内分离。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中在制造钻石整理器时，需要将石膏层先倒入模具内，然后在石膏层上表面放置钻石，然后在钻石的上方倒入合成树脂，然后等待凝固后取出，由于是在模具内进行制造的，在石膏层和合成树脂凝固后不容易从模具内分离的问题，而提出的一种制备晶圆钻石整理器过程的模具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种制备晶圆钻石整理器过程的模具，包括模具，所述模具的下侧内壁放置有升降板，所述升降板的下侧设有升降机构。

优选的，所述升降机构包括固定连接在模具下侧壁的安装筒，所述安装筒的内壁通过轴承转动连接有螺纹筒，所述螺纹筒内螺纹套接有螺纹杆，所述模具的下侧壁开设有与螺纹杆相互匹配的开口，所述螺纹杆的上端通过开口且与升降板的下侧壁固定连接。

优选的，所述螺纹筒的杆壁固定套设有锥齿圈，所述模具的下侧壁固定连接有两个支撑板，位于右侧所述支撑板和安装筒的侧壁转动连接有同一根控制杆，所述控制杆的左端固定连接有锥齿轮，所述控制杆的右端固定连接有把手。

优选的，所述把手靠近支撑板的侧壁固定连接有摩擦环。

优选的，所述安装筒的内壁固定连接有两个限位板，所述螺纹杆的杆壁开设有两个与限位板相互匹配的限位槽。

优选的，所述升降板的外壁固定套设有密封圈。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种制备晶圆钻石整理器过程的模具，具备以下有益效果：

该制备晶圆钻石整理器过程的模具，通过设置的模具、升降板、安装筒、螺纹筒、螺纹杆，能够在制造好钻石整理器后，方便将制造好的钻石整理器从模具内取出，提高了钻石整理器制造的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种制备晶圆钻石整理器过程的模具的结构示意图。

图中：1、模具；2、升降板；6、安装筒；7、螺纹筒；8、螺纹杆；9、锥齿圈；10、支撑板；11、控制杆；12、锥齿轮；13、把手；14、摩擦环；15、限位板；16、限位槽；17、密封圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1，一种制备晶圆钻石整理器过程的模具，包括模具1，模具1的下侧内壁放置有升降板2，升降板2的下侧设有升降机构。

升降机构包括固定连接在模具1下侧壁的安装筒6，安装筒6的内壁通过轴承转动连接有螺纹筒7，螺纹筒7内螺纹套接有螺纹杆8，模具1的下侧壁开设有与螺纹杆8相互匹配的开口，螺纹杆8的上端通过开口且与升降板2的下侧壁固定连接，方便将制造好的钻石整理器从模具内取出，提高了钻石整理器制造的工作效率。