[实用新型]一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述蒸镀速率检测装置包括：

晶振盘，所述晶振盘上设有环形槽以容置环形晶振片；和，

遮挡件，所述遮挡件可转动地设置在所述晶振盘上用于遮挡所述环形晶振片，且所述遮挡件的投影面积覆盖所述晶振盘，所述遮挡件开设有第一通孔，所述第一通孔用于露出所述环形晶振片中的一段。

2.如权利要求1所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述蒸镀速率检测装置还包括：

旋转组件，包括固定轴和旋转轴；

所述固定轴上设置所述遮挡件，所述旋转轴驱动所述晶振盘旋转，以使所述晶振盘与所述遮挡件相对转动；或，所述固定轴上设置所述晶振盘，所述旋转轴驱动所述遮挡件旋转，以使所述遮挡件与所述晶振盘相对转动。

3.如权利要求2所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述旋转组件还包括驱动件，所述驱动件驱动所述旋转轴转动。

4.如权利要求2所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述旋转轴可转动地套设在所述固定轴外。

5.如权利要求4所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述晶振盘的中心开设有旋转孔，所述晶振盘通过所述旋转孔穿过所述固定轴以使所述晶振盘设置在所述旋转轴上。

6.如权利要求2所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述旋转轴上设有定位部，所述晶振盘与所述定位部对应处设有定位槽。

7.如权利要求1至6任意一项所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述环形槽具有贯穿所述晶振盘环形透视部，且在所述晶振盘上设有连接所述环形透视部外环壁和内环壁的连接部。

8.如权利要求7所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述环形晶振片的内径为10mm～40mm,外径为18mm～70mm，厚度为0.2mm～0.7mm。

9.如权利要求8所述的蒸镀速率检测装置，其特征在于，所述环形透视部的内径大于所述环形晶振片的内径，所述环形透视部的外径小于所述环形晶振片的外径。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括如权利要求1至9任意一项所述的蒸镀速率检测装置。