[实用新型]一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备

说明书

本申请公开了一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备，蒸镀速率检测装置包括晶振盘，晶振盘上设有环形槽以容置环形晶振片；和遮挡件，遮挡件可转动地设置在晶振盘上用于遮挡环形晶振片，且遮挡件的投影面积覆盖晶振盘，遮挡件开设有第一通孔，第一通孔用于露出环形晶振片中的一段。环形晶振片一体化的结构，使晶振片在检测时无需切换，避免每批次圆形晶振片切换每个圆形晶振片耗费的时间，环形晶振片的检测时间延长，产能得到提高，环形晶振片的利用率也得到提高；环形晶振片一次性地在晶振盘上安装和拆卸，拆装便捷，避免设置多个圆形晶振片拆装时容易掉落、晶振片浪费的问题；还能使生产成本得到较大程度地降低。

技术领域

本申请属于显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备。

背景技术

相关技术中，如图1和图2所示，蒸镀速率检测技术是将圆形晶振片(Sensor)安装在陶瓷盘上，一般地一个陶瓷盘上安装有十个圆形晶振片，然后设置投影面积覆盖陶瓷盘的遮挡板(Chopper)，遮挡板上开设有通孔以能够完全露出陶瓷盘上的整个圆形晶振片。在蒸镀速率检测时，遮挡板旋转的同时保持圆形晶振片和陶瓷盘固定不动，通过遮挡板上的通孔对完全露出的圆形晶振片进行蒸镀速率检测。一个陶瓷盘可安装十个圆形晶振片，生产中需要进行九次圆形晶振片切换，每次圆形晶振片切换晶振片时，在圆形晶振片与圆形晶振片之间的旋转过程中，会出现无圆形晶振片检测速率的过程，而且切换圆形晶振片过程中速率稳定耗时10分钟/次，耗时较长。此外，每个圆形晶振片大速率使用14h后，圆形晶振片寿命(Lifetime)就达到上限10，当圆形晶振片寿命达到上限10后，速率检测稳定性较差，无法继续使用，需要切换下一批次圆形晶振片，故批次最大检测时间为10×14h＝140h，整体检测效率较低，无法满足更高的产能需求，材料浪费率较高。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

本申请旨在至少能够在一定程度上解决现有蒸镀检测整理检测效率低，无法满足更高的产能需求，材料浪费率较高的技术问题。为此，本申请提供了一种蒸镀速率检测装置和蒸镀设备。

本申请实施例提供的一种蒸镀速率检测装置，所述蒸镀速率检测装置包括：

晶振盘，所述晶振盘上设有环形槽以容置环形晶振片；和，

遮挡件，所述遮挡件可转动地设置在所述晶振盘上用于遮挡所述环形晶振片，且所述遮挡件的投影面积覆盖所述晶振盘，所述遮挡件开设有第一通孔，所述第一通孔用于露出所述环形晶振片中的一段。

在一些实施方式中，所述蒸镀速率检测装置还包括：

旋转组件，包括固定轴和旋转轴；

所述固定轴上设置所述遮挡件，所述旋转轴驱动所述晶振盘旋转，以使所述晶振盘与所述遮挡件相对转动；或，所述固定轴上设置所述晶振盘，所述旋转轴驱动所述遮挡件旋转，以使所述遮挡件与所述晶振盘相对转动。

在一些实施方式中，所述旋转组件还包括驱动件，所述驱动件驱动所述旋转轴转动。

在一些实施方式中，所述旋转轴可转动地套设在所述固定轴外。

在一些实施方式中，所述晶振盘的中心开设有旋转孔，所述晶振盘通过所述旋转孔穿过所述固定轴以使所述晶振盘设置在所述旋转轴上。

在一些实施方式中，所述旋转轴上设有定位部，所述晶振盘与所述定位部对应处设有定位槽。

在一些实施方式中，所述环形槽具有贯穿所述晶振盘环形透视部，且在所述晶振盘上设有连接所述环形透视部外环壁和内环壁的连接部。

在一些实施方式中，所述环形晶振片的内径为10mm～40mm,外径为18mm～70mm，厚度为0.2mm～0.7mm。