[实用新型]一种磁控溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜装置，包括机体(1)、放置在机体(1)内部的靶材(3)、设置在基板(2)与靶材(3)之间的溅射窗(4)以及对称设置在溅射窗(4)上的连接板(401)，其特征在于：所述溅射窗(4)底部对称设置有调节机构(5)，所述调节机构(5)一侧设置有多个修正板(507)，所述修正板(507)靠近连接板(401)的一侧固定连接有连接块二(508)，所述连接块二(508)远离修正板(507)的一侧设置有用于对连接块二(508)进行固位的电动卡爪(509)，所述调节机构(5)包括移动块(502)，所述移动块(502)底部设置有用于驱动移动块(502)移动的驱动组件(501)，移动块(502)一侧固定连接有电动推杆(503)，所述电动推杆(503)推动端设置有用于连接修正板(507)的连接组件。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述连接组件包括固定连接在电动推杆(503)推动端的第二电机(504)，所述第二电机(504)输出端固定连接有螺纹棒(505)，所述修正板(507)上固定连接有连接块一(506)，所述连接块一(506)靠近螺纹棒(505)的一侧开设有与螺纹棒(505)相适配的螺纹槽。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述电动卡爪(509)靠近移动块(502)的一侧固定连接有激光发射器(511)，所述移动块(502)靠近电动卡爪(509)的一侧固定连接有激光接收器(512)。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述电动卡爪(509)上开设有圆槽，所述圆槽内部设置有压力传感器(510)。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述驱动组件(501)包括固定连接在连接板(401)上的限位框(5013)，所述限位框(5013)一侧设置有第一电机(5011)，所述第一电机(5011)输出端固定连接有螺杆(5012)，所述螺杆(5012)一侧设置有限位柱(5014)，所述移动块(502)与螺杆(5012)相螺接且移动块(502)与限位柱(5014)活动连接，所述第一电机(5011)与限位柱(5014)均通过固定板(5015)与连接板(401)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述机体(1)上开设有抽真空孔(101)以及充气孔(102)，分别用于抽真空以及充入气体，机体(1)上铰接有机盖(103)。

7.根据权利要求3所述的一种磁控溅射镀膜装置，其特征在于：所述机体(1)一侧固定安装有控制器(6)，所述激光发射器(511)、激光接收器(512)、电动卡爪(509)以及电动推杆(503)均与控制器(6)电性连接。