[实用新型]一种基板支撑装置

权利要求书

1.一种基板支撑装置，包括工作台及旋转台，所述旋转台能够绕转动中心线相对旋转地设置在所述工作台上，所述转动中心线沿上下方向延伸，其特征在于：所述基板支撑装置还包括导液座，所述导液座设于所述旋转台的上方，所述导液座与所述工作台相对固定地设置，所述导液座的周向外表面位于一虚拟圆锥面内，所述虚拟圆锥面的顶点朝上，所述虚拟圆锥面的中心线与所述转动中心线相重合。

2.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于：所述虚拟圆锥面的锥角为95°～110°。

3.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于：所述基板支撑装置还包括用于将基板固定在所述旋转台上的基板定位机构，当所述基板固定在所述旋转台上时，所述基板的下表面与旋转台间隔设置，所述导液座位于所述基板与所述旋转台之间，所述导液座的顶部与所述基板间隔设置。

4.根据权利要求3所述的基板支撑装置，其特征在于：所述基板定位机构包括沿所述旋转台的周向间隔设置的多个支撑件与多个定位件，当所述基板固定在所述旋转台上时，每个所述支撑件均支撑于所述基板的下方，每个所述定位件均抵靠在所述基板的周向侧壁上。

5.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于：所述基板支撑装置还包括运动盘，所述运动盘固设于所述旋转台上，所述运动盘的中心线与所述转动中心线相重合，所述运动盘的直径小于所述旋转台的直径，所述运动盘的上表面高于所述旋转台的上表面，所述运动盘的周向侧壁具有导向斜面，所述导向斜面沿所述运动盘的径向自内向外逐渐向下倾斜延伸，部分所述导液座位于所述运动盘的上方。

6.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于：所述旋转台的中心开设有安装口，所述基板支撑装置还包括安装座，所述安装座与所述工作台相对固定地设置，至少部分所述安装座沿上下方向穿设于所述安装口中，所述导液座与所述安装座固定设置。

7.根据权利要求6所述的基板支撑装置，其特征在于：所述基板支撑装置还包括用于驱动所述旋转台旋转的驱动装置，所述驱动装置包括驱动轴，所述驱动轴能够绕所述转动中心线旋转，所述驱动轴与所述旋转台固定连接，至少部分所述驱动轴穿设于所述安装口中。

8.根据权利要求6所述的基板支撑装置，其特征在于：所述基板支撑装置还包括至少一条背喷管道，所述背喷管道的中心线与所述转动中心线平行或重合，所述背喷管道自下而上穿过所述安装座及所述导液座，当所述基板固定在所述旋转台上时，所述背喷管道的出液口位于所述基板的下方。

9.根据权利要求8所述的基板支撑装置，其特征在于：所述安装座的上表面为弧面，所述弧面与所述导液座的周向外表面平滑相接。