[实用新型]一种化学气相沉积用气体分布装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积用气体分布装置，包括分布装置主体，其特征在于：所述气体分布装置主体包括设备外壳(1)，所述设备外壳(1)的顶端外表面连接有泄压组件，所述设备外壳(1)的内部连接有分布组件主体，所述设备外壳(1)的内部连接有封盖(4)，且封盖(4)的内部连接有扶持组件，所述设备外壳(1)的内壁连接有出气槽(8)；

所述扶持组件包括第一抵板(3)、缓冲气囊(5)、第一支撑杆(6)、第一卡杆(7)、出气槽(8)、沉积盘(2)和扭力弹簧(12)，所述设备外壳(1)的外表面铰接有封盖(4)，且封盖(4)的内部连接有第一抵板(3)，所述第一抵板(3)的外表面连接有第一支撑杆(6)，且第一抵板(3)的内壁连接有缓冲气囊(5)，所述第一抵板(3)的外表面抵接有沉积盘(2)，所述沉积盘(2)的外表面抵接有第一卡杆(7)，且第一卡杆(7)的外表面连接有扭力弹簧(12)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积用气体分布装置，其特征在于：所述泄压组件包括第一弹簧(9)、第一滑块(10)和第一撑杆(11)，所述设备外壳(1)的内壁连接有第一滑块(10)，且第一滑块(10)的一侧表面连接有第一弹簧(9)，所述第一滑块(10)的外表面连接有第一撑杆(11)。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积用气体分布装置，其特征在于：所述第一弹簧(9)的一端连接在设备外壳(1)的内部，所述第一弹簧(9)的另一侧表面连接有第一滑块(10)。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积用气体分布装置，其特征在于：所述第一卡杆(7)设置有两组，且两组所述第一卡杆(7)等距离均匀连接在沉积盘(2)的外表面。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积用气体分布装置，其特征在于：所述扭力弹簧(12)的一端连接在设备外壳(1)的外表面，所述扭力弹簧(12)的另一端连接在第一卡杆(7)的外表面。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积用气体分布装置，其特征在于：所述第一抵板(3)的内壁开设有弧形槽，且弧形槽的内部形状大小和缓冲气囊(5)的外表面。

7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积用气体分布装置，其特征在于：所述沉积盘(2)的外表面等距离均匀开设有六组缺口。