[实用新型]氮化炉控制装置及系统有效
| 申请号： | 202222694836.9 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN218089756U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 陈肖华;吴万里;冯留建;陈喜清;刘兴平;杨利明;周克虎;马刚;张财国 | 申请（专利权）人： | 新疆晶硕新材料有限公司;新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/24 | 分类号： | C23C8/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 罗仕满 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 控制 装置 系统 | ||
1.一种氮化炉控制装置，其特征在于，包括：
控制器；
压力传感器，所述压力传感器设置于氮化炉，所述压力传感器通过RS485总线与所述控制器连接；
流量控制器，所述流量控制器设置于与所述氮化炉连通的气体输入管道，所述流量控制器通过RS485总线与所述控制器连接；
温度控制器，所述温度控制器设置于所述氮化炉，所述温度控制器通过RS485总线与所述控制器连接；
其中，所述控制器用于接收所述压力传感器的压力检测信号，向所述流量控制器传递流量控制信号，以及用于接收所述温度控制器的温度检测信号，向所述温度控制器传递温度控制信号。
2.根据权利要求1所述的氮化炉控制装置，其特征在于，所述控制器包括定时模块和算法模块，所述算法模块与所述定时模块、所述压力传感器和所述流量控制器分别连接。
3.根据权利要求1所述的氮化炉控制装置，其特征在于，所述控制器设置有多个RS485总线接口。
4.一种氮化炉控制系统，其特征在于，包括如权利要求1至3中任一项所述的氮化炉控制装置，还包括：
输入设定装置，所述输入设定装置通过RS485总线与所述控制器连接。
5.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统，其特征在于，还包括：
远程主站，所述远程主站通过以太网与所述控制器连接。
6.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统，其特征在于，还包括：
与所述氮化炉连通的至少三个气体输入管道，所述至少三个气体输入管道用于向所述氮化炉输入氢气、氮气和氩气。
7.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统，其特征在于，所述气体输入管道设置有流量调节阀。
8.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统，其特征在于，还包括：
与所述氮化炉连通的气体输出管道。
9.根据权利要求8所述的氮化炉控制系统，其特征在于，所述气体输出管道设置有排气阀。
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