[实用新型]氮化炉控制装置及系统

说明书

本实用新型提供了一种氮化炉控制装置及系统。所述氮化炉控制装置包括：控制器；压力传感器和温度控制器，压力传感器和温度控制器设置于氮化炉，压力传感器和温度控制器分别通过RS485总线与控制器连接；流量控制器，流量控制器设置于与氮化炉连通的气体输入管道，流量控制器通过RS485总线与控制器连接；控制器用于接收压力传感器的压力检测信号，向流量控制器传递流量控制信号，以及用于接收温度控制器的温度检测信号，向温度控制器传递温度控制信号。本实用新型的方案通过RS485总线的可靠通讯，可以实时、精准地控制输入氮化炉的气体流量和生产工艺需要的不同温度，从而实现氮化硅制粉过程的自动化控制。

技术领域

本实用新型涉及氮化炉控制技术领域，尤其是涉及一种氮化炉控制装置及系统。

背景技术

目前利用氮化炉烧结制备氮化硅粉，在烧结反应中组合气体的气氛构成和温度非常关键，气氛值的不同和温度的不同会造成反应效率和产品品质的显著变化，因此必须实现气氛值和温度按工艺动态设定，然而现有技术中，针对氮化炉制粉过程中气氛值和温度难以跟随工艺需求动态精准控制，从而无法实现工艺流程智能化自动控制。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种氮化炉控制装置及系统，从而解决现有技术中氮化炉的气氛值和温度控制不精准的问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供一种氮化炉控制装置，包括：

控制器；

压力传感器，所述压力传感器设置于氮化炉，所述压力传感器通过RS485总线与所述控制器连接；

流量控制器，所述流量控制器设置于与所述氮化炉连通的气体输入管道，所述流量控制器通过RS485总线与所述控制器连接；

温度控制器，所述温度控制器设置于所述氮化炉，所述温度控制器通过RS485总线与所述控制器连接；

其中，所述控制器用于接收所述压力传感器的压力检测信号，向所述流量控制器传递流量控制信号。

其中，所述控制器用于接收所述温度控制器的温度检测信号，向所述温度控制器传递温度控制信号，以及用于接收所述压力传感器的压力检测信号，向所述流量控制器传递流量控制信号。

可选的，所述的氮化炉控制装置，其中，所述控制器包括定时模块和算法模块，所述算法模块与所述定时模块、所述压力传感器和所述流量控制器分别连接。

可选的，所述的氮化炉控制装置，其中，所述控制器设置有多个RS485总线接口。

为了实现上述目的，本实用新型实施例还提供一种氮化炉控制系统，包括如上任一项所述的氮化炉控制装置，还包括：

输入设定装置，所述输入设定装置通过RS485总线与所述控制器连接。

可选的，所述的氮化炉控制系统，其中，还包括：

远程主站，所述远程主站通过以太网与所述控制器连接。

可选的，所述的氮化炉控制系统，其中，还包括：

与所述氮化炉连通的至少三个气体输入管道，所述至少三个气体输入管道用于向所述氮化炉输入氢气、氮气和氩气。

可选的，所述的氮化炉控制系统，其中，所述气体输入管道设置有流量调节阀。

可选的，所述的氮化炉控制系统，其中，还包括：

与所述氮化炉连通的气体输出管道。

可选的，所述的氮化炉控制系统，其中，所述气体输出管道设置有排气阀。

本实用新型的上述技术方案至少具有如下有益效果：