[实用新型]照明装置以及检测设备

权利要求书

1.一种照明装置，其特征在于，用于照射样品表面，包括：光源组件、光放大组件以及光阑组件；

所述光源组件用于发射照明光；

所述光阑组件和光放大组件均位于所述光源组件至样品之间的光路上；

所述光放大组件用于使所述光源组件的出光端面或样品表面与所述光阑组件共轭；和/或，所述照明装置还包括位于所述样品和所述光放大组件之间的物镜，所述样品设置于所述物镜的焦面处，所述光放大组件用于使所述光阑组件与所述物镜远离所述样品的焦面共轭；所述光放大组件靠近所述光阑组件的一端为放大端。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述光阑组件包括孔径光阑或视场光阑；

所述孔径光阑用于调整所述照明光照射至所述样品表面的入射角；

所述视场光阑用于调整所述照明光照射至所述样品表面的光斑尺寸。

3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述光放大组件用于使所述光源组件的出光端面与所述光阑组件共轭；所述照明装置还包括聚焦元件，所述聚焦元件位于所述光阑组件与所述样品之间的光路上，所述聚焦元件包括物镜；

所述聚焦元件使所述光阑组件与所述样品表面共轭，或所述样品设置于所述聚焦元件的焦面处，所述光阑组件位于所述聚焦元件远离所述样品的焦面或位于所述聚焦元件远离所述样品的焦面的共轭面。

4.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，所述聚焦元件用于使光阑组件与样品表面共轭；所述聚焦元件包括沿所述光源组件到所述样品之间的光路上依次设置的第三镜组和物镜，所述样品设置于所述物镜的焦面，所述光阑组件设置于所述第三镜组的焦面。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的照明装置，其特征在于，所述光放大组件包括：第一镜组和第二镜组，所述光放大组件的放大端为所述第二镜组远离所述第一镜组的一端，所述第一镜组的焦距小于所述第二镜组的焦距。

6.根据权利要求5所述的照明装置，其特征在于，所述光阑组件包括视场光阑，所述视场光阑与所述样品表面共轭；所述照明装置还包括聚焦元件，所述聚焦元件包括沿所述光源组件到所述样品之间的光路上依次设置的第三镜组和物镜；

所述照明装置还包括：孔径光阑，所述孔径光阑位于所述物镜靠近所述第三镜组的焦面处；或者，所述孔径光阑位于所述第二镜组靠近所述第一镜组的焦面，所述第三镜组与所述第二镜组组成缩放器，所述缩放器对所述孔径光阑进行缩小成像。

7.根据权利要求5所述的照明装置，其特征在于，所述照明装置还包括第四镜组以及第三镜组，所述第三镜组位于物镜和第四镜组之间，所述第四镜组位于所述光放大组件与第三镜组之间；所述光阑组件包括孔径光阑；

所述光阑组件位于所述第四镜组与第二镜组之间，所述第四镜组和第二镜组对所述光阑组件进行缩小成像至所述物镜靠近第三镜组的焦面；或者，所述光阑组件位于所述物镜靠近第三镜组的焦面。

8.根据权利要求7所述的照明装置，其特征在于，所述照明装置还包括视场光阑，

所述视场光阑位于所述第一镜组和第二镜组之间，所述第二镜组、第四镜组、第三镜组和物镜对所述视场光阑进行缩小成像至样品表面；或者，所述视场光阑位于第三镜组和第四镜组之间，所述第三镜组和第四镜组对所述视场光阑缩小成像至样品表面。

9.根据权利要求6所述的照明装置，其特征在于，所述照明装置还包括：第一偏振片以及第二偏振片；

所述第一偏振片位于所述孔径光阑至所述第二镜组的光路上，所述第二偏振片位于所述第二镜组至所述视场光阑的光路上；

所述第一偏振片以及所述第二偏振片用于调整入射至所述样品表面的照明光的功率和/或偏振态。

10.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，所述光放大组件包括沿所述光源组件到所述样品之间的光路上依次设置的第三镜组和物镜，所述样品设置于所述物镜的焦面，所述光阑组件设置于所述第三镜组的焦面。