[实用新型]照明装置以及检测设备

说明书

本申请实施例公开了照明装置以及检测设备，用于提升对照明光的控制精度，包括：光源组件、光放大组件以及光阑组件；所述光源组件用于发射照明光；所述光阑组件和光放大组件均位于所述光源组件至样品之间的光路上；所述光放大组件用于使所述光源组件的出光端面或样品表面与所述光阑组件共轭；和/或，所述照明装置还包括位于所述样品和所述光放大组件之间的物镜，所述样品设置于所述物镜的焦面处，所述光放大组件用于使所述光阑组件与所述物镜远离所述样品的焦面共轭；所述光放大组件靠近所述光阑组件的一端为放大端。

技术领域

本申请实施例涉及光学检测技术领域，尤其涉及照明装置以及检测设备。

背景技术

在明场照明的检测设备中，光源组件发出的照明光束在样品表面形成的光斑尺寸以及入射光束入射至样品表面的入射角度会影响检测或测量的速度和精度；为了提高检测或测量的速度和精度往往需要在入射光路中设置光阑以对照明光束在样品表面形成的光斑尺寸及入射角进行控制。

但是，光源组件出光端面的口径较小，导致通过光阑对照明光束的照明视场的控制精度较低；聚焦组件入瞳平面的共轭面较小，也导致通过光阑对照明光束的照明角度的控制精度较低。

实用新型内容

本申请实施例提供了照明装置以及检测设备，用于提升照明视场以及照明角度的控制精度。

本申请实施例第一方面提供的一种照明装置，包括：光源组件、光放大组件以及光阑组件；

所述光源组件用于发射照明光；

所述光阑组件和光放大组件均位于所述光源组件至样品之间的光路上；

所述光放大组件用于使所述光源组件的出光端面或样品表面与所述光阑组件共轭；和/或，所述照明装置还包括位于所述样品和所述光放大组件之间的物镜，所述样品设置于所述物镜的焦面处，所述光放大组件用于使所述光阑组件与所述物镜远离所述样品的焦面共轭；所述光放大组件靠近所述光阑组件的一端为放大端。

在一些具体实现方式中，所述光阑组件包括孔径光阑或视场光阑；

所述孔径光阑用于调整所述照明光照射至所述样品表面的入射角；

所述视场光阑用于调整所述照明光照射至所述样品表面的光斑尺寸。

在一些具体实现方式中，所述光放大组件用于使所述光源组件的出光端面与所述光阑组件共轭；所述照明装置还包括聚焦元件，所述聚焦元件位于所述光阑组件与所述样品之间的光路上，所述聚焦元件包括物镜；

所述聚焦元件使所述光阑组件与所述样品表面共轭，或所述样品设置于所述聚焦元件的焦面处，所述光阑组件位于所述聚焦元件远离所述样品的焦面或位于所述聚焦元件远离所述样品的焦面的共轭面。

在一些具体实现方式中，所述聚焦元件用于使光阑组件与样品表面共轭；所述聚焦元件包括沿所述光源组件到所述样品之间的光路上依次设置的第三镜组和物镜，所述样品设置于所述物镜的焦面，所述光阑组件设置于所述第三镜组的焦面。

在一些具体实现方式中，所述光放大组件包括：第一镜组和第二镜组，所述光放大组件的放大端为所述第二镜组远离所述第一镜组的一端，所述第一镜组的焦距小于所述第二镜组的焦距。

在一些具体实现方式中，所述光阑组件包括视场光阑，所述视场光阑与所述样品表面共轭；所述照明装置还包括聚焦元件，所述聚焦元件包括沿所述光源组件到所述样品之间的光路上依次设置的第三镜组和物镜；

所述照明装置还包括：孔径光阑，所述孔径光阑位于所述物镜靠近所述第三镜组的焦面处；或者，所述孔径光阑位于所述第二镜组靠近所述第一镜组的焦面，所述第三镜组与所述第二镜组组成缩放器，所述缩放器对所述孔径光阑进行缩小成像。