[实用新型]连筋切割装置有效

专利信息
申请号: 202222720667.1 申请日: 2022-10-17
公开(公告)号: CN218310310U 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 甘志超 申请(专利权)人: 杰华特微电子股份有限公司
主分类号: B21D28/02 分类号: B21D28/02;B21D28/04;B21D37/16;H01L21/67;B24B9/04
代理公司: 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 代理人: 赵杰香
地址: 310030 浙江省杭州市西湖区三墩镇*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种连筋切割装置,其特征在于,所述装置包括:

操作台,用于放置待处理芯片,所述待处理芯片的引脚间包括连筋;

冲裁模块,所述冲裁模块设置于所述待处理芯片的引脚区域,该冲裁模块通过下压冲裁,去除各引脚间的至少部分连筋,使得所述连筋仅剩余与所述引脚连接的根部;

加热模块,对所述连筋的根部进行加热,使所述连筋的根部软化;

打磨模块,对软化后的所述连筋的根部进行打磨,直至所述连筋的根部大致齐平于所述引脚端面。

2.根据权利要求1所述的连筋切割装置,其特征在于,所述装置还包括:

定位模块,用于对所述待处理芯片的引脚进行定位;

根据所述定位模块的定位,所述加热模块采用非接触式的加热方式对所述连筋的根部进行加热。

3.根据权利要求2所述的连筋切割装置,其特征在于,所述加热模块包括激光单元;

所述定位模块对所述待处理芯片的引脚进行定位后,所述激光单元对所述引脚的边缘发射激光,通过所述激光对所述连筋的根部进行加热以使所述连筋的根部软化。

4.根据权利要求2所述的连筋切割装置,其特征在于,所述定位模块包括红外单元,所述红外单元利用红外传感方式对所述引脚进行定位。

5.根据权利要求2所述的连筋切割装置,其特征在于,所述加热模块和所述定位模块一体成型。

6.根据权利要求1-5任一项所述的连筋切割装置,其特征在于,所述装置还包括数控模块,

所述数控模块控制所述加热模块以一预设速度沿所述引脚边缘移动。

7.根据权利要求6所述的连筋切割装置,其特征在于,所述预设速度满足所述加热模块经过所述连筋的根部后,所述连筋的根部处于熔融状态。

8.根据权利要求1所述的连筋切割装置,其特征在于,所述待处理芯片为QFP芯片。

9.根据权利要求1所述的连筋切割装置,其特征在于,所述打磨模块使用砂轮对所述引脚进行打磨,所述砂轮的厚度小于相邻两个引脚的间距。

10.根据权利要求1所述的连筋切割装置,其特征在于,所述装置还包括冷却模块,用于在所述打磨模块完成打磨后控制所述待处理芯片的降温速率。

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