[实用新型]一种新式多管气相沉积炉

权利要求书

1.一种新式多管气相沉积炉，其特征在于：包括立式炉体，在所述立式炉体的加热圆柱腔内安装有若干个环形立式炉管组件，各所述环形立式炉管组件均沿所述加热圆柱腔的圆周方向间隔均布设置，所述加热圆柱腔内部用于储放导热油，通过对导热油的加热升温实现对各个环形立式炉管组件内部的物料进行加热处理，在所述加热圆柱腔的下部安装有一下部定位盘，各所述环形立式炉管组件的下部均自上而下固定穿出至所述下部定位盘的下方，在所述加热圆柱腔的上部安装有一升降式上部定位机构，在所述立式炉体的外侧壁上安装有与加热圆柱腔内部相连通的循环油管，两所述循环油管与外部高温导热油源相连接。

2.根据权利要求1所述的一种新式多管气相沉积炉，其特征在于：所述升降式上部定位机构的顶部活动穿出所述立式炉体的顶部并与一调节器相连接。

3.根据权利要求2所述的一种新式多管气相沉积炉，其特征在于：所述环形立式炉管组件包括一导热外筒，在所述导热外筒内同轴安装有一导热内筒，在所述导热内筒与所述导热外筒的顶部和底部分别焊接有环形上端密封盖、环形下端密封盖，所述环形上端密封盖、所述环形下端密封盖配合实现对所述导热外筒、所述导热内筒之间围成的环形反应腔的封堵，在所述环形上端密封盖、所述环形下端密封盖上分别安装有一与环形反应腔相连通的物料引导管，两所述物料引导管的外端均活动穿出至所述立式炉体的外部，在各所述物料引导管上均安装有引导泵、电磁控料阀。

4.根据权利要求3所述的一种新式多管气相沉积炉，其特征在于：所述升降式上部定位机构包括安装在所述加热圆柱腔内的上部定位盘，所述上部定位盘通过沿其圆周局部的上部限位通孔活动套接配合在对应位置处的所述环形立式炉管组件的导热外筒的外侧壁上，在所述上部定位盘的顶部安装有一导向限位立柱，所述导向限位立柱的下端由所述上部定位盘的中心孔活动穿出，在所述上部定位盘上部和下部的所述导向限位立柱的外侧壁上分别固定安装有一限位座，两所述限位座与所述上部定位盘之间活动抵接，所述导向限位立柱的顶部活动螺纹穿出至所述立式炉体的上方，在所述立式炉体上方的所述导向限位立柱的外侧壁上设置有所述调节器，通过操作所述调节器可带动所述上部定位盘沿着各个导热外筒的外侧壁实现上下运动，在所述上部定位盘上下运动的过程中能够将导热外筒表面粘附的粘稠导热油刮除。

5.根据权利要求4所述的一种新式多管气相沉积炉，其特征在于：所述调节器包括设置在所述加热圆柱腔内的油液上方的所述导向限位立柱的外侧壁上的调节外螺纹，所述调节外螺纹延伸至所述导向限位立柱的顶部，在所述导向限位立柱的顶部固定安装有一旋转手柄。

6.根据权利要求5所述的一种新式多管气相沉积炉，其特征在于：所述导热内筒的中心腔的顶部和底部分别与所述加热圆柱腔相连通且可通入加热状态的导热油。

7.根据权利要求6所述的一种新式多管气相沉积炉，其特征在于：在所述旋转手柄的两端外侧壁上分别安装有隔热操作套。