[实用新型]一种新式多管气相沉积炉有效
申请号: | 202222728328.8 | 申请日: | 2022-10-17 |
公开(公告)号: | CN218372507U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 张海洋;陈继伟;李红;聂文永 | 申请(专利权)人: | 山东京能新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/52 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 刘玉强 |
地址: | 272100 山东省济宁市兖州区大*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新式 多管气相 沉积 | ||
本实用新型涉及气相沉积炉技术领域,尤其是一种新式多管气相沉积炉,包括立式炉体,在所述立式炉体的加热圆柱腔内安装有若干个环形立式炉管组件,通过对导热油的加热升温实现对各个环形立式炉管组件内部的物料进行加热处理,在所述加热圆柱腔的下部安装有一下部定位盘,各所述环形立式炉管组件的下部均自上而下固定穿出至所述下部定位盘的下方,在所述加热圆柱腔的上部安装有一升降式上部定位机构,在所述立式炉体的外侧壁上安装有与加热圆柱腔内部相连通的循环油管,两所述循环油管与外部高温导热油源相连接。本实用新型中设计的新式气相沉积炉在采用了多管立式结构,可以有效地保证了各管内均可以加工化工物料物料,有效地提高了生产效率。
技术领域
本实用新型涉及气相沉积炉技术领域,特别涉及一种采用立式多管的结构同时能够保证热量的充分利用、提高化工物料生产过程中的生产效率的新式多管气相沉积炉,尤其是一种新式多管气相沉积炉。
背景技术
气相沉积炉是一种常用化工设备,其在化工物料生产工艺中经常用到。传统的气相沉积炉采用单炉管结构,油品在单炉管内部进行反应时燃烧不够充分、浪费现象较为严重,热量损失较大,而且单管结构的生产效率较低,很难保证高质量的化工物料的加工需求。
因此,近年来诸多单位也对传统的气相沉积炉进行了优化与再改进,例如在专利申请号为CN202121536967.3的专利技术中就公开了一种管式气相沉积炉,其主要结构包括管体、进料口、气孔、加热箱、连接板和底座,管体两端均设有进料口和气孔,加热箱滑动连接在管体上,管体连接在连接板上,连接板转动连接在底座上。
从上述专利可以看出,上述专利技术主要是将传统的立式单炉管结构改进成了卧式的单管的结构并将加热箱设置为可以移动的方式,其可以能使热量利用率得到一定的提高,但是该结构仍是采用的单管结构,其管径无法进行大幅扩张,因此其仍然存在效率较低的问题。
为此,本实用新型在此提出了一种新式多管气相沉积炉,其采用立式多管的结构同时能够保证热量的充分利用、提高化工物料生产过程中的生产效率,用以更好地解决现有技术中存在的问题。
实用新型内容
本实用新型为解决上述技术问题之一,所采用的技术方案是:一种新式多管气相沉积炉,包括立式炉体,在所述立式炉体的加热圆柱腔内安装有若干个环形立式炉管组件,各所述环形立式炉管组件均沿所述加热圆柱腔的圆周方向间隔均布设置,所述加热圆柱腔内部用于储放导热油,通过对导热油的加热升温实现对各个环形立式炉管组件内部的物料进行加热处理,在所述加热圆柱腔的下部安装有一下部定位盘,各所述环形立式炉管组件的下部均自上而下固定穿出至所述下部定位盘的下方,在所述加热圆柱腔的上部安装有一升降式上部定位机构,在所述立式炉体的外侧壁上安装有与加热圆柱腔内部相连通的循环油管,两所述循环油管与外部高温导热油源相连接。
在上述任一方案中优选的是,所述升降式上部定位机构的顶部活动穿出所述立式炉体的顶部并与一调节器相连接。
在上述任一方案中优选的是,所述环形立式炉管组件包括一导热外筒,在所述导热外筒内同轴安装有一导热内筒,在所述导热内筒与所述导热外筒的顶部和底部分别焊接有环形上端密封盖、环形下端密封盖,所述环形上端密封盖、所述环形下端密封盖配合实现对所述导热外筒、所述导热内筒之间围成的环形反应腔的封堵,在所述环形上端密封盖、所述环形下端密封盖上分别安装有一与环形反应腔相连通的物料引导管,两所述物料引导管的外端均活动穿出至所述立式炉体的外部,在各所述物料引导管上均安装有引导泵、电磁控料阀。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的