[实用新型]一种延长晶振片寿命的蒸镀机

权利要求书

1.一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述蒸镀机包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有镀源和晶振片，所述晶振片连接有膜厚计，其特征在于，所述延长晶振片寿命的蒸镀机包括遮挡板，所述遮挡板自转设置，所述遮挡板自转所绕轴线垂直于遮挡板；

所述遮挡板包括多个遮挡部和多个镂空部；多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道；

所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间。

2.根据权利要求1所述的延长晶振片寿命的蒸镀机，其特征在于，还包括镀锅，所述镀源、镀锅、遮挡板和晶振片自下到上依次设置。

3.根据权利要求2所述的延长晶振片寿命的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀腔内壁上水平设有环状的行星轨，所述镀锅滑动连接行星轨。

4.根据权利要求1所述的延长晶振片寿命的蒸镀机，其特征在于，所述遮挡板截面呈圆形，所述镂空通道截面呈扇形；所述镂空通道的半径均沿遮挡板半径设置。

5.根据权利要求1所述的延长晶振片寿命的蒸镀机，其特征在于，多个所述镂空通道截面的总面积为遮挡板面积的0.35-0.65倍。

6.根据权利要求1所述的延长晶振片寿命的蒸镀机，其特征在于，还包括旋转环和电机，所述旋转环水平设置，所述旋转环的外圈的整个圆周滑动连接蒸镀腔；所述电机传动连接旋转环，所述遮挡板覆盖并固定于旋转环内圈。

7.根据权利要求6所述的延长晶振片寿命的蒸镀机，其特征在于，所述旋转环的内圈设有卡接槽，所述遮挡板边沿设有对应卡接槽的卡接凸起，所述遮挡板通过卡接槽与旋转环固定连接。

8.根据权利要求6所述的延长晶振片寿命的蒸镀机，其特征在于，还包括镀锅，所述镀锅与旋转环固定连接。