[实用新型]一种延长晶振片寿命的蒸镀机

说明书

本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述延长晶振片寿命的蒸镀机的多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道；所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间。本实用新型的有益效果在于：所述延长晶振片寿命的蒸镀机中，蒸镀材料从镀源蒸镀到晶振片上的路径时而被遮挡部阻挡，时而由镂空通道连通。因此所述遮挡板的设置使晶振片被镀膜较少。不仅使晶振片的侦测膜厚精度更高，还使晶振片长期处于载荷较低的状态下，延长了晶振片的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种延长晶振片寿命的蒸镀机。

背景技术

在LED半导体芯片领域，经常应用真空蒸镀机在晶圆片上镀膜；蒸镀机中安装有晶振片用于计算镀膜厚度。

晶振片主要结构为石英晶体，而石英晶体具有压电效应，如果在晶体的表面上镀一层薄膜，则晶体的固有震荡频率就会改变；换言之晶振片上承载的质量越大，其震荡频率越低。

但晶振片的承载质量与震荡频率并非线性关系；随着震荡频率的下降，晶振片侦测膜厚不仅会变得不精确，而且晶振片长期载荷较大容易失效。特别是在如黄金、铂金等密度较大的材料蒸镀时，会大大减少晶振片的寿命，从而提高生产成本。本领域迫切需要一种能延长晶振片使用寿命的结构。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种延长晶振片寿命的蒸镀机，不仅延长晶振片的使用寿命还使膜厚的侦测结构精确。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的一种技术方案为：一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述蒸镀机包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有镀源和晶振片，所述晶振片连接有膜厚计，所述延长晶振片寿命的蒸镀机包括遮挡板，所述遮挡板自转设置，所述遮挡板自转所绕轴线垂直于遮挡板；

所述遮挡板包括多个遮挡部和多个镂空部；多个所述遮挡部绕遮挡板自转轴线均匀设置，所述镂空部设置在相邻的遮挡部之间；所述镂空部上设有镂空通道；

所述镂空通道和遮挡部旋转所扫过平面均阻隔在镀源和晶振片之间。

本实用新型的有益效果在于：所述延长晶振片寿命的蒸镀机中，镀源使蒸镀材料挥发后蒸镀在晶圆片上或经过遮挡板蒸镀在晶振片上。

所述遮挡板旋转，因为遮挡板上设有镂空通道和遮挡部；故而蒸镀材料从镀源蒸镀到晶振片上的路径时而被遮挡部阻挡，时而由镂空通道连通。因此所述遮挡板的设置使晶振片被镀膜较少。调节膜厚计的修正系数，使膜厚计在接收晶振片的震荡频率后可计算出正确的晶圆片上镀膜厚度。

本实用新型提供的延长晶振片寿命的蒸镀机中的晶振片镀膜厚度比晶圆片上的镀膜厚度薄，不仅使晶振片的侦测膜厚精度更高，还使晶振片长期处于载荷较低的状态下，延长了晶振片的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型具体实施方式的一种延长晶振片寿命的蒸镀机的整体结构示意图；

图2为本实用新型具体实施方式的一种延长晶振片寿命的蒸镀机的部分结构示意图；

标号说明：

1、镀源；2、晶振片；3、遮挡板；31、遮挡部；32、镂空通道；33、卡接凸起；4、镀锅；5、行星轨；6、旋转环。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1-2，一种延长晶振片寿命的蒸镀机，所述蒸镀机包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有镀源1和晶振片2，所述晶振片2连接有膜厚计，所述延长晶振片寿命的蒸镀机包括遮挡板3，所述遮挡板3自转设置，所述遮挡板3自转所绕轴线垂直于遮挡板3；