[实用新型]一种光刻机支架及支架组件

权利要求书

1.一种光刻机支架及支架组件，其特征在于，包括：

底板，所述底板的下端左右两侧均安装有支撑腿，且支撑腿的下端内侧设置有定位杆，所述定位杆与支撑腿的连接处安装有调节杆，且定位杆的下端设置有防滑块；

限位柱，其安装在底板的上端，所述限位柱的上端外侧设置有支撑板，且支撑板和底板的连接处安装有复位弹簧，所述支撑板的下侧设置有第一衔接板，且第一衔接板和底板的连接处安装有第二衔接板；

调节板，其设置在第二衔接板的内侧，所述调节板的下端安装有安装杆，且安装杆的下方设置有安装在底板内部的油腔，所述安装杆和油腔的连接处设置有缓冲板，且缓冲板的内部安装有流通孔；

光刻机底座，其安装在支撑板的上侧，所述支撑板的左右两侧均安装有安装板，且安装板和光刻机底座的连接处设置有定位架，并且定位架和安装板的连接处安装有调节栓。

2.如权利要求1所述的一种光刻机支架及支架组件，其特征在于：所述定位杆在支撑腿的内侧构成升降结构，且定位杆与调节杆采用螺纹的方式相连接。

3.如权利要求1所述的一种光刻机支架及支架组件，其特征在于：所述第一衔接板在支撑板的下侧构成转动结构，且支撑板通过复位弹簧在限位柱的外侧构成弹性伸缩结构。

4.如权利要求1所述的一种光刻机支架及支架组件，其特征在于：所述调节板在第二衔接板的内侧构成滑动结构，且调节板通过安装杆在油腔的上侧构成升降结构。

5.如权利要求1所述的一种光刻机支架及支架组件，其特征在于：所述定位架与光刻机底座采用卡合的方式相连接，且定位架和安装板均与调节栓采用螺纹的方式相连接。

6.如权利要求1所述的一种光刻机支架及支架组件，其特征在于：所述定位架在安装板的内侧构成滑动结构，且安装板在支撑板的上侧构成转动结构。