[实用新型]一种晶圆载具

权利要求书

1.一种晶圆载具，包括载具本体（1），其特征在于：所述载具本体（1）上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套（2），所述载具本体（1）的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板（3），所述载具本体（1）内壁的底部开设有导向槽（4），所述导向槽（4）的内壁滑动连接有从斜板（5），所述从斜板（5）的表面与推动斜板（3）的表面滑动连接，所述从斜板（5）的侧面与载具本体（1）内壁的侧面之间固定连接有弹力件（6），所述从斜板（5）的顶部通过铰链座转动连接有连接杆（7），所述连接杆（7）的顶端通过铰链座与夹套（2）转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述载具本体（1）的底部固定连接有滑板（8），所述滑板（8）的数量为四个，且数量为四个的滑板（8）均匀分布在载具本体（1）的左右两侧。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述滑板（8）的侧面固定连接带有内螺纹槽的安装板（9），所述安装板（9）的内部螺纹连接有定位螺栓（10）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述夹套（2）由外护板（11）和内环板（12）组成，所述外护板（11）的内壁与内环板（12）的外壁固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述内环板（12）的内壁固定连接有防滑软垫（13），所述防滑软垫（13）的表面开设有防滑纹。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述推动斜板（3）的侧面固定连接有移动块（14），所述通槽的内壁开设有移动槽（15），所述移动槽（15）的内壁与移动块（14）的表面滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆载具，其特征在于：所述弹力件（6）包括两个阻尼块（16）和短弹簧（17），两个阻尼块（16）分别固定连接在从斜板（5）的侧面与载具本体（1）内壁的侧面上，所述短弹簧（17）固定连接在两个阻尼块（16）之间。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆载具，其特征在于：两个阻尼块（16）的表面之间固定连接有伸缩套（18），所述伸缩套（18）由外套筒和内套筒组成，且内套筒的表面与外套筒的内壁滑动连接。