[实用新型]一种晶圆载具

说明书

本实用新型公开了一种晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套，所述载具本体的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板，所述载具本体内壁的底部开设有导向槽，所述导向槽的内壁滑动连接有从斜板，所述从斜板的表面与推动斜板的表面滑动连接，所述从斜板的侧面与载具本体内壁的侧面之间固定连接有弹力件，本实用新型通过上述等结构的配合，实现了设置防滑软垫能够对晶圆的夹紧防落，通过推动斜板和从斜板之间滑动作用下，弹力件能够给予从斜板后续复位的弹力，保障了拉动以及稳定夹套对晶圆的装卸作用，给工作人员的工作带来了便利。

技术领域

本实用新型涉及晶圆储存技术领域，具体为一种晶圆载具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆加工好后会安装规格投入晶圆盒中进行稳定放置，且载具能够进行晶圆盒的存放以及运输，由于现有的大多数载具采用包围的形式进行晶圆放置，但是其自身缺乏相对应的防护结构，从而容易受到外界碰撞而发生弯曲变形，且移动过程中晶圆容易滑落，给实际使用带来了一定的不利影响，因此需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆载具，设置防滑软垫能够对晶圆的夹紧防落，通过推动斜板和从斜板之间滑动作用下，弹力件能够给予从斜板后续复位的弹力，保障了拉动以及稳定夹套对晶圆的装卸作用，给工作人员的工作带来了便利的优点，给实际使用带来了一定的有利影响，解决了以上背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆载具，包括载具本体，所述载具本体上靠近其内壁的顶部通过销轴转动连接有夹套，所述载具本体的底部开设有通槽，所述通槽的内壁滑动连接有推动斜板，所述载具本体内壁的底部开设有导向槽，所述导向槽的内壁滑动连接有从斜板，所述从斜板的表面与推动斜板的表面滑动连接，所述从斜板的侧面与载具本体内壁的侧面之间固定连接有弹力件，所述从斜板的顶部通过铰链座转动连接有连接杆，所述连接杆的顶端通过铰链座与夹套转动连接。

优选的，所述载具本体的底部固定连接有滑板，所述滑板的数量为四个，且数量为四个的滑板均匀分布在载具本体的左右两侧。

优选的，所述滑板的侧面固定连接带有内螺纹槽的安装板，所述安装板的内部螺纹连接有定位螺栓。

优选的，所述夹套由外护板和内环板组成，所述外护板的内壁与内环板的外壁固定连接。

优选的，所述内环板的内壁固定连接有防滑软垫，所述防滑软垫的表面开设有防滑纹。

优选的，所述推动斜板的侧面固定连接有移动块，所述通槽的内壁开设有移动槽，所述移动槽的内壁与移动块的表面滑动连接。

优选的，所述弹力件包括两个阻尼块和短弹簧，两个阻尼块分别固定连接在从斜板的侧面与载具本体内壁的侧面上，所述短弹簧固定连接在两个阻尼块之间。

优选的，所述两个阻尼块的表面之间固定连接有伸缩套，所述伸缩套由外套筒和内套筒组成，且内套筒的表面与外套筒的内壁滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：借助滑板能够带动整个载具本体进行平稳移动，转动定位螺栓能够进行载具本体的稳定安装，通过移动块和移动槽的设置，借助外力按压推动斜板平稳移动，推动斜板移动能够挤压从斜板在导向槽中移动，通过弹力件的设置，给予从斜板后续复位的弹力，从斜板移动能够带动连接杆推动两个夹套倾斜，进而解除对晶圆的夹紧，以便工作人员进行晶圆的拿取。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面视图；

图2为本实用新型的A处放大图；

图3为本实用新型弹力件的正视剖面视图。