[实用新型]半导体检测治具

说明书

本实用新型公开一种半导体检测治具，包括：基座；转动框，可转动地安装在基座上；料盒，固定安装在转动框内，料盒具有沿第一方向并排分布的多个第一料槽；以及，辅助定位部，具有沿第一方向并排分布的多个第二料槽；其中，半导体检测治具在工作状态下，辅助定位部位于料盒的上方，并且辅助定位部的多个第二料槽与料盒的多个第一料槽一一正对设置。该实用新型中转动架可以控制料盒的倾斜角度，方便检测人员观察晶背/晶面的镭射痕迹；在检测人员将晶圆放入料盒或者从料盒内抽取晶圆的过程中，辅助定位部起到导向作用，能够方便检测人员准确取放晶圆，防止晶圆刮伤，提高产品质量。

技术领域

本实用新型一般涉及半导体检测技术领域，具体涉及一种半导体检测治具。

背景技术

随着半导体的应用越来越广泛，芯片的功能也逐渐增加。在集成电路制造过程中，多个芯片集成于同一片晶圆上，芯片集成度越来越高的同时，其测试性能也随之提升，而测试需要导通，会在切割道上铺设一些介电材料，介电材料(LOW-K)又脆又硬，采用刀片切割的方式会导致介电材料断裂甚至延伸，目前使用镭射技术切割，在镭射切割后由检测人员将每片晶圆从料盒中取出，在强光下倾斜查看是否完成镭射，观察结束后将晶圆再放入另一个料盒中，在这个取放过程中容易刮伤晶圆，且检测人员需要倾斜查看，容易拿取不稳掉片。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种半导体检测治具。

本实用新型的实施例提供一种半导体检测治具，包括:

基座；

转动框，可转动地安装在所述基座上；

料盒，固定安装在所述转动框内，所述料盒具有并排分布的多个第一料槽；以及，

辅助定位部，具有并排分布的多个第二料槽；其中，

所述半导体检测治具在工作状态下，所述辅助定位部位于所述料盒的上方，并且所述多个第二料槽与所述多个第一料槽在所述辅助定位部和所述料盒的对接方向上一一正对设置。

在一些示例中，所述辅助定位部可拆卸地连接于所述料盒。

在一些示例中，在所述第一料槽的进出料方向上，所述辅助定位部滑动连接于所述料盒。

在一些示例中，所述料盒和所述辅助定位部分别呈矩形框架结构；

所述料盒包括两块相对设置的第一侧板，每块所述第一侧板上设有并排且间隔分布的多个第一凸起，相邻所述第一凸起之间为所述第一料槽；在所述多个第一凸起并排分布的方向上，所述第一侧板的两侧分别设有导滑部；在所述第一凸起的延伸方向上，所述导滑部远离所述料盒底部的一端超过所述第一侧板远离所述料盒底部的一端；

所述辅助定位部包括两块相对设置的第二侧板以及四个拐角支撑部，每块所述第二侧板上设有并排且间隔分布的多个第二凸起，相邻所述第二凸起之间为所述第二料槽；在所述第二凸起的延伸方向上，所述拐角支撑部的底部伸出所述第二侧板的底部，所述拐角支撑部的内部设有与所述导滑部相适配的导槽，所述导槽的延伸方向同所述第二凸起的延伸方向。

在一些示例中，所述辅助定位部可转动地连接于所述转动框。

在一些示例中，所述辅助定位部与所述转动框之间铰接连接，所述辅助定位部在第一位置和第二位置之间可转动，所述辅助定位部处在所述第一位置时，所述辅助定位部与所述转动框之间通过锁紧部紧固。

在一些示例中，所述锁紧部包括设于所述辅助定位部的第一锁紧部及设于所述转动框相连的第二锁紧部；

当所述第一锁紧部及所述第二锁紧部处于锁合状态时，所述辅助定位部支撑在所述转动框上；当所述第一锁紧部及所述第二锁紧部处于解锁状态时，所述辅助定位部能够相对于所述转动框转动。