[实用新型]晶圆自传输系统

权利要求书

1.一种晶圆自传输系统，包括：

机械臂；

上料工位和反应腔工位，所述机械臂将所述晶圆自上料工位传输至反应腔工位；其特征在于，还包括：

清洁工位，用于清洁机械臂。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述清洁工位进一步包括：

清洁工具，用于清洁机械臂；

去静电装置，用于减少清洁工具清洁时产生的静电；

载片台，用于载片，以确认机械臂的清洁效果。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述清洁工具进一步包括毛刷和无尘布。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述毛刷可拆卸更换。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述清洁工位可独立运行。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述反应腔工位工作时，所述机械臂暂停工作，并引入清洁工位进行清洁。