[实用新型]一种硅片湿制程智能型搬运机器人

说明书

本实用新型属于机器人技术领域，涉及一种硅片湿制程智能型搬运机器人，包括由下至上依次设置的移动组件、支撑组件和机械臂，所述移动组件的上方紧邻所述支撑组件设有开口向上的水箱，所述机械臂的自由端设有用来将硅片移入或移出所述水箱的夹爪。本搬运机器人能够利用水箱让湿制程硅片浸没在水里，防止硅片暴露咋空气中，避免了人工搬运费时费力的麻烦，也避免了水箱倾覆造成硅片破坏和洁净室污染。

技术领域

本实用新型涉及机器人技术领域，特别涉及一种硅片湿制程智能型搬运机器人。

背景技术

搬运机器人为应用机器人运动轨迹实现代替人工搬运的自动化产品，也是近代自动控制领域出现的一项高新技术，涉及到了力学、机械学、电器液压气压技术、自动控制技术、传感器技术、单片机技术和计算机技术等学科领域，已成为现代机械制造生产体系中的一项重要组成部分，它的优点是可以通过编程完成各种预期的任务，在自身结构和性能上有了人和机器的各自优势，尤其体现出了人工智能和适应性。

因半导体产业中，芯片制造工艺中的硅片湿制程需求，硅片在湿制程加工过程中需浸泡在水中。硅片湿制程工艺时，因为物料需要在水介质中去除杂质，硅片不能接触到空气，所以在搬运途中硅片也需要在液体中进行浸泡。现有技术中，硅片采用人工搬运，也就是人工将硅片放入水箱中，水箱还要通过手推车搬运。水箱满载重量为70kg，手动运输艰难，不仅搬运费时费力，且水箱易倾覆造成硅片破坏和洁净室污染。

因此有必要开发一种新的智能移动机器人来解决以上问题。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种硅片湿制程智能型搬运机器人，能够将用来将硅片浸泡在水箱一并搬运，免去人工参与，提高搬运效率，避免倾覆风险。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种硅片湿制程智能型搬运机器人，包括由下至上依次设置的移动组件、支撑组件和机械臂，所述移动组件的上方紧邻所述支撑组件设有开口向上的水箱，所述机械臂的自由端设有用来将硅片移入或移出所述水箱的夹爪。

具体的，所述水箱的底部设有排水管，所述排水管上设有电磁阀。

具体的，所述水箱的开口内侧设有回形的挡水板。

进一步的，所述水箱的开口内侧设有上下两个挡水板。

具体的，所述支撑组件的底部设有拱形的车体，所述水箱连接于所述车体上，所述车体的底部具有若干行走轮，所述移动组件为能与所述车体的拱形结构配接的行走机器人。

具体的，所述支撑组件的两侧各设有一个用来扫描所述水箱侧面扇形区域的激光探测器。

本实用新型技术方案的有益效果是：

本搬运机器人能够利用水箱让湿制程硅片浸没在水里，防止硅片暴露咋空气中，避免了人工搬运费时费力的麻烦，也避免了水箱倾覆造成硅片破坏和洁净室污染。

附图说明

图1为实施例硅片湿制程智能型搬运机器人的立体图；

图2为实施例硅片湿制程智能型搬运机器人另一个视角的立体图。

图中数字表示：

1-移动组件；

2-支撑组件，21-激光探测器，22-车体，221-行走轮；

3-机械臂，31-夹爪；

4-水箱，41-排水管，42-电磁阀，43-挡水板。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：