[实用新型]一种旋转式进料检测系统有效
| 申请号： | 202222801385.4 | 申请日： | 2022-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN219162296U | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 黄能权;潘宇 | 申请（专利权）人： | 苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/00;G01N21/95 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 朱华庆 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 进料 检测 系统 | ||
1.一种旋转式进料检测系统，其特征在于，包括震动盘（1）和转盘机构（2），所述震动盘（1）用来放置待测半导体，所述转盘机构（2）用来装夹待测半导体，所述震动盘（1）和所述转盘机构（2）之间通过滑动槽（3）连接，所述滑动槽（3）内用于待测半导体滑动，所述转盘机构（2）包括转盘（4）和托盘（5），在所述转盘（4）上设置有由外缘向内延伸的落料孔（41），所述落料孔（41）用来装置待测半导体，所述托盘（5）围绕所述转盘（4）的外缘延伸，所述落料孔（41）对接着所述滑动槽（3）的出口，与所述转盘机构（2）对应设置的有用于检测半导体的检测机构（6）。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式进料检测系统，其特征在于，所述检测机构（6）包括上CCD检测器（61）、下CCD检测器（62）、电路检测器（63）和充放电检测器（64）。
3.根据权利要求2所述的一种旋转式进料检测系统，其特征在于，所述上CCD检测器（61）、所述下CCD检测器（62）、所述电路检测器（63）和所述充放电检测器（64）都位于所述托盘（5）上。
4.根据权利要求2所述的一种旋转式进料检测系统，其特征在于，所述充放电检测器（64）位于所述托盘（5）底部。
5.根据权利要求2所述的一种旋转式进料检测系统，其特征在于，所述充放电检测器（64）包括多个充放电探针。
6.根据权利要求1所述的一种旋转式进料检测系统，其特征在于，在所述托盘（5）上设置有用于次品半导体排出的出料孔（51），所述出料孔（51）上设置有用于排除次品半导体的吸料机构。
7.根据权利要求6所述的一种旋转式进料检测系统，其特征在于，所述出料孔（51）的深度比所述落料孔（41）的深。
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