[实用新型]一种旋转式进料检测系统有效
申请号: | 202222801385.4 | 申请日: | 2022-10-24 |
公开(公告)号: | CN219162296U | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 黄能权;潘宇 | 申请(专利权)人: | 苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R31/00;G01N21/95 |
代理公司: | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人: | 朱华庆 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 进料 检测 系统 | ||
本实用新型目的是要提供一种旋转式进料检测系统,解决了机器检测半导体代替人工的问题,包括震动盘和转盘机构,所述震动盘用来放置待测半导体,所述转盘机构用来装夹待测半导体,所述震动盘和所述转盘机构之间通过滑动槽连接,所述滑动槽内用于待测半导体滑动,所述转盘机构包括转盘和托盘,在所述转盘上设置有由外缘向内延伸的落料孔,所述落料孔用来装置待测半导体,所述托盘围绕所述转盘的外缘延伸,所述落料孔对接着所述滑动槽的出口,与所述转盘机构对应设置的有用于检测半导体的检测机构,由于把多个待测半导体集中在一起,多个不同工位上的程序自动检测,因此达到了省时省力的效果,解决了机器检测半导体代替人工的问题。
技术领域
本实用新型涉及一种旋转式进料检测系统。
背景技术
随着技术的成熟,半导体的体积越来越小,现有的技术,在检测半导体时费时费力,很多体积小的半导体不能同时对应多工位检测,所以对这一情况有改进。
实用新型内容
本实用新型目的是要提供一种旋转式进料检测系统,解决了机器检测半导体代替人工的问题。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
本实用新型提供了一种旋转式进料检测系统,包括震动盘和转盘机构,所述震动盘用来放置待测半导体,所述转盘机构用来装夹待测半导体,所述震动盘和所述转盘机构之间通过滑动槽连接,所述滑动槽内用于待测半导体滑动,所述转盘机构包括转盘和托盘,在所述转盘上设置有由外缘向内延伸的落料孔,所述落料孔用来装置待测半导体,所述托盘围绕所述转盘的外缘延伸,所述落料孔对接着所述滑动槽的出口,与所述转盘机构对应设置的有用于检测半导体的检测机构。
可选地,所述检测机构包括上CCD检测器、下CCD检测器、电路检测器和充放电检测器。
进一步地,所述上CCD检测器、所述下CCD检测器、所述电路检测器和所述充放电检测器都位于所述托盘上。
进一步地,所述充放电检测器位于所述托盘底部。
进一步地,所述充放电检测器包括多个充放电探针。
可选地,在所述托盘上设置有用于次品半导体排出的出料孔,所述出料孔上设置有用于排除次品半导体的吸料机构。
进一步地,所述出料孔的深度比所述落料孔的深。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
本实用新型的一种旋转式进料检测系统,由于把多个待测半导体集中在一起,同时对应多个不同工位上的程序自动检测,不需要人工一个个检测,因此达到了省时省力的效果,解决了机器检测半导体代替人工的问题。
附图说明
后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解,这些附图未必是按比例绘制的。附图中:
图1是根据本实用新型优选实施例的一种旋转式进料检测系统立体图;
图2是图1所示A部放大图;
图3是图1所示充放电检测器的放大图。
其中,附图标记说明如下:
1、震动盘;
2、转盘机构;
3、滑动槽;
4、转盘;
41、落料孔;
5、托盘;
51、出料孔;
6、检测机构;
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