[实用新型]mask抽取机构有效
申请号: | 202222802776.8 | 申请日: | 2022-10-24 |
公开(公告)号: | CN218309480U | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 刘礼勇;蒋新;施利君 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 邱锴文 |
地址: | 215555 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mask 抽取 机构 | ||
1.mask抽取机构,其特征在于,包括:
支撑架(1);
旋转架(2),所述旋转架(2)转动设置在所述支撑架(1)上;
旋转驱动组件(5),所述旋转驱动组件(5)设置在所述支撑架(1)上,且与所述旋转架(2)传动连接,所述旋转驱动组件(5)能够驱动所述旋转架(2)相对所述支撑架(1)转动,使得所述旋转架(2)处于水平状态或者竖直状态;
夹取组件(8),所述夹取组件(8)设置在所述旋转架(2)上,且能够沿所述旋转架(2)移动以将mask(3)夹取放置到所述旋转架(2)上。
2.根据权利要求1所述的mask抽取机构,其特征在于,还包括地轨(7)和移动驱动组件(6),所述支撑架(1)设置在所述地轨(7)上,所述移动驱动组件(6)设置在所述支撑架(1)上,且与所述地轨(7)传动连接,所述移动驱动组件(6)能够驱动所述支撑架(1)在所述地轨(7)上往复移动。
3.根据权利要求2所述的mask抽取机构,其特征在于,沿所述地轨(7)的延伸方向于所述地轨(7)上设置有齿条,所述移动驱动组件(6)包括第一电机(61)和第一齿轮,所述第一电机(61)设置在所述支撑架(1)上,所述第一电机(61)与所述第一齿轮传动连接,所述第一齿轮与所述齿条啮合。
4.根据权利要求2所述的mask抽取机构,其特征在于,所述地轨(7)的下端间隔设置有多个支撑地脚(71),多个所述支撑地脚(71)相对地轨(7)的伸出的长度能够调节。
5.根据权利要求1所述的mask抽取机构,其特征在于,所述旋转架(2)上设置有转轴(21),所述旋转架(2)通过所述转轴(21)转动设置在所述支撑架(1)上,所述旋转驱动组件(5)包括第二电机(51)和第二齿轮,所述第二电机(51)设置在所述支撑架(1)上,且与所述第二齿轮传动连接,所述第二齿轮与所述转轴(21)传动连接。
6.根据权利要求1所述的mask抽取机构,其特征在于,所述夹取组件(8)包括移动组件和夹紧组件,所述移动组件设置在所述旋转架(2)上,所述夹紧组件与所述移动组件传动连接,所述移动组件能够驱动所述夹紧组件相对所述旋转架(2)运动,所述夹紧组件能够夹住mask(3)。
7.根据权利要求6所述的mask抽取机构,其特征在于,所述移动组件包括第三电机、丝杠(81)和丝母,所述第三电机设置在所述旋转架(2)上,且与所述丝杠(81)传动连接,所述丝母与所述丝杠(81)螺接,所述夹紧组件与所述丝母连接。
8.根据权利要求7所述的mask抽取机构,其特征在于,所述夹紧组件包括夹紧气缸(82)和夹爪,所述夹爪设置在所述夹紧气缸(82)上,所述夹紧气缸(82)与所述丝母连接。
9.根据权利要求1所述的mask抽取机构,其特征在于,沿所述mask(3)夹取运动方向,于所述旋转架(2)的相对的两侧设置有支撑滚轮(24)和侧滚轮(23),所述支撑滚轮(24)用于支撑mask(3),所述侧滚轮(23)与mask(3)的侧边抵接。
10.根据权利要求1所述的mask抽取机构,其特征在于,还包括压紧组件(4),所述压紧组件(4)包括驱动气缸(41)和压紧滚轮(42),所述驱动气缸(41)设置在所述旋转架(2)上,所述压紧滚轮(42)设置在所述驱动气缸(41)的活塞杆上,所述驱动气缸(41)能够驱动所述压紧滚轮(42)与mask(3)抵接。
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