[实用新型]mask抽取机构有效
申请号: | 202222802776.8 | 申请日: | 2022-10-24 |
公开(公告)号: | CN218309480U | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 刘礼勇;蒋新;施利君 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 邱锴文 |
地址: | 215555 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mask 抽取 机构 | ||
本实用新型涉及自动化技术领域,尤其涉及一种mask抽取机构,其包括支撑架;旋转架,所述旋转架转动设置在所述支撑架上;旋转驱动组件,所述旋转驱动组件设置在所述支撑架上,且与所述旋转架传动连接,所述旋转驱动组件能够驱动所述旋转架相对所述支撑架转动,使得所述旋转架处于水平状态或者竖直状态;夹取组件,所述夹取组件设置在所述旋转架上,且能够沿所述旋转架移动以将mask夹取放置到所述旋转架上。本实用新型能够实现mask的自动抽取,降低劳动强度,防止对mask造成损伤。
技术领域
本实用新型涉及技术领域,尤其涉及一种mask抽取机构。
背景技术
mask是蒸镀制程中的关键制具,其中,mask清洗机用于OLED制程,清洗蒸镀设备内核心部件—mask,AMOLED采用mask蒸镀方式实现。而mask精密度极高,而且极其脆弱,价格也极其昂贵,并且mask重量达100kg左右,故对于mask的上下料要求极高。原先mask为人工上下料,将竖直放置的mask从框体中抽出并呈水平放置。在工作的过程中,不仅劳动强度大而且容易造成mask的损伤,并且人工上料误差较大,不利于全自动的实现。
因此,需要一种mask抽取机构来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种mask抽取机构,能够实现mask的自动抽取,降低劳动强度,防止对mask造成损伤。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
mask抽取机构,包括:
支撑架;
旋转架,所述旋转架转动设置在所述支撑架上;
旋转驱动组件,所述旋转驱动组件设置在所述支撑架上,且与所述旋转架传动连接,所述旋转驱动组件能够驱动所述旋转架相对所述支撑架转动,使得所述旋转架处于水平状态或者竖直状态;
夹取组件,所述夹取组件设置在所述旋转架上,且能够沿所述旋转架移动以将mask夹取放置到所述旋转架上。
进一步地,还包括地轨和移动驱动组件,所述支撑架设置在所述地轨上,所述移动驱动组件设置在所述支撑架上,且与所述地轨传动连接,所述移动驱动组件能够驱动所述支撑架在所述地轨上往复移动。
进一步地,沿所述地轨的延伸方向于所述地轨上设置有齿条,所述移动驱动组件包括第一电机和第一齿轮,所述第一电机设置在所述支撑架上,所述第一电机与所述第一齿轮传动连接,所述第一齿轮与所述齿条啮合。
进一步地,所述地轨的下端间隔设置有多个支撑地脚,多个所述支撑地脚相对地轨的伸出的长度能够调节。
进一步地,所述旋转架上设置有转轴,所述旋转架通过所述转轴转动设置在所述支撑架上,所述旋转驱动组件包括第二电机和第二齿轮,所述第二电机设置在所述支撑架上,且与所述第二齿轮传动连接,所述第二齿轮与所述转轴传动连接。
进一步地,所述夹取组件包括移动组件和夹紧组件,所述移动组件设置在所述旋转架上,所述夹紧组件与所述移动组件传动连接,所述移动组件能够驱动所述夹紧组件相对所述旋转架运动,所述夹紧组件能够夹住mask。
进一步地,所述移动组件包括第三电机、丝杠和丝母,所述第三电机设置在所述旋转架上,且与所述丝杠传动连接,所述丝母与所述丝杠螺接,所述夹紧组件与所述丝母连接。
进一步地,所述夹紧组件包括夹紧气缸和夹爪,所述夹爪设置在所述夹紧气缸上,所述夹紧气缸与所述丝母连接。
进一步地,沿所述mask夹取运动方向,于所述旋转架的相对的两侧设置有支撑滚轮和侧滚轮,所述支撑滚轮用于支撑mask,所述侧滚轮与mask的侧边抵接。
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