[实用新型]一种硅片制造用清洗干燥装置

权利要求书

1.一种硅片制造用清洗干燥装置，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)的左端设置有固定板(2)，所述固定板(2)的内部设置有滑槽(3)，所述固定板(2)的下端设置有第二推杆(16)，所述第二推杆(16)的输出端固定连接有气缸(4)，所述气缸(4)的输出端固定连接于第一连接杆(15)，所述第一连接杆(15)的下端固定连接有擦板(14)，所述机体(1)的下端设置有底座(13)，所述底座(13)的下端固定安装有支撑柱(17)，所述底座(13)的下端固定连接有U形板(11)，所述底座(13)的前端安装有电热开关(12)，所述底座(13)的上表面左端设置有水池(5)，所述底座(13)的上表面右侧设置有电热板(25)，所述底座(13)与固定板(2)固定连接，所述底座(13)的上表面固定安装有限位杆(9)，所述机体(1)的上端设置有转板(8)，所述转板(8)的侧面固定安装有固定杆(26)，所述转板(8)的上表面固定连接有第一推杆(7)，所述第一推杆(7)的输出端固定连接有第三连接杆(20)，所述第三连接杆(20)的前端固定对称连接有固定夹板(6)，所述机体(1)的内部设置有夹紧机构(24)。

2.根据权利要求1所述一种硅片制造用清洗干燥装置，其特征在于：所述夹紧机构(24)包括夹板(21)、弹簧(22)和软夹板(23)，所述夹板(21)设置于固定夹板(6)的下端，所述弹簧(22)设置于固定夹板(6)与夹板(21)之间，所述弹簧(22)的上端固定连接于固定夹板(6)，且下端固定连接于夹板(21)，所述软夹板(23)固定连接于夹板(21)的前端。

3.根据权利要求1所述一种硅片制造用清洗干燥装置，其特征在于：所述U形板(11)的内部设置有电机(18)，所述电机(18)的输出端固定连接有第二连接杆(19)，所述第二连接杆(19)的上端与转板(8)固定连接。

4.根据权利要求1所述一种硅片制造用清洗干燥装置，其特征在于：所述气缸(4)滑动连接于滑槽(3)的内部。

5.根据权利要求1所述一种硅片制造用清洗干燥装置，其特征在于：所述机体(1)的右端固定安装有放置槽(10)。

6.根据权利要求2所述一种硅片制造用清洗干燥装置，其特征在于：所述夹紧机构(24)固定对称连接于第三连接杆(20)的前端。