[实用新型]一种硅片制造用清洗干燥装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片制造用清洗干燥装置，包括机体，所述机体的左端设置有固定板，所述固定板的内部设置有滑槽，所述固定板的下端设置有第二推杆，所述第二推杆的输出端固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接于第一连接杆，所述第一连接杆的下端固定连接有擦板，所述机体的下端设置有底座，所述底座的下端固定安装有支撑柱，所述底座的下端固定连接有U形板，所述底座的前端安装有电热开关，所述底座的上表面左端设置有水池，所述底座的上表面右侧设置有电热板，所述底座与固定板固定连接，通过电机带动转板转动，使转板向右转动能夹持硅片，向左转动使硅片能够被清洗干燥，通过电机能够反复驱动，使在清洗干燥硅片的过程中更为便捷。

技术领域

本实用新型涉及硅片制造用清洗干燥装置的技术领域，具体为一种硅片制造用清洗干燥装置。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制作成各种半导体器件，同时硅片的清洗很重要，它影响电池的转换率，如器件的性能中反向电流迅速加大及器件失效等，因此硅片的清洗很重要。

现有的清洗有化学清洗，通过有机溶剂与无机溶剂中清洗，硅片中的杂质如镁、铝、铜、银、金、氧化铝、二氧化硅等杂质，只能用无机酸出去，但是清洗的步骤较麻烦，容易使硅片损坏。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片制造用清洗干燥装置，解决了在清洗干燥过程中不会损坏硅片的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片制造用清洗干燥装置，包括机体，所述机体的左端设置有固定板，所述固定板的内部设置有滑槽，所述固定板的下端设置有第二推杆，所述第二推杆的输出端固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接于第一连接杆，所述第一连接杆的下端固定连接有擦板，所述机体的下端设置有底座，所述底座的下端固定安装有支撑柱，所述底座的下端固定连接有U形板，所述底座的前端安装有电热开关，所述底座的上表面左端设置有水池，所述底座的上表面右侧设置有电热板，所述底座与固定板固定连接，所述底座的上表面固定安装有限位杆，所述机体的上端设置有转板，所述转板的侧面固定安装有固定杆，所述转板的上表面固定连接有第一推杆，所述第一推杆的输出端固定连接有第三连接杆，所述第三连接杆的前端固定对称连接有固定夹板，所述机体的内部设置有夹紧机构。

优选的，所述夹紧机构包括夹板、弹簧和软夹板，所述夹板设置于固定夹板的下端，所述弹簧设置于固定夹板与夹板之间，所述弹簧的上端固定连接于固定夹板，且下端固定连接于夹板，所述软夹板固定连接于夹板的前端。

优选的，所述U形板的内部设置有电机，所述电机的输出端固定连接有第二连接杆，所述第二连接杆的上端与转板固定连接。

优选的，所述气缸滑动连接于滑槽的内部。

优选的，所述机体的右端固定安装有放置槽。

优选的，所述夹紧机构固定对称连接于第三连接杆的前端。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种硅片制造用清洗干燥装置。具备以下有益效果：

(1)、该一种硅片制造用清洗干燥装置，通过电机带动转板转动，使转板向右转动能够夹持硅片，向左转动，使硅片能够被清洗干燥，通过电机能够反复驱动，使在清洗干燥硅片的过程中更为便捷。

(2)、该一种硅片制造用清洗干燥装置，在取用硅片使，通过夹紧机构将硅片夹起，利用前端的软夹板对硅片进行夹持不会使硅片在夹持的过程中被损坏，并且夹持硅片的前端即可。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型电机结构示意图；