[实用新型]一种莱宝机晶圆镀膜夹具

权利要求书

1.一种莱宝机晶圆镀膜夹具，包括夹具基座，其特征是，所述夹具基座为中心开孔的环状结构，夹具基座表面中心内凹设置有夹具安置槽，夹具安置槽内安装有多个磁石，夹具安置槽内通过磁石吸附安装有夹具体，夹具体包括可通过磁石吸附的夹具底板和夹具盖板，夹具底板和夹具盖板为环形结构，夹具底板内沿内凹设置有晶圆安置槽，夹具底板外沿上开设有多条排水槽，夹具盖板配合覆盖夹具底板。

2.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具底板和夹具盖板上对应开设有定位孔，夹具基座的夹具安置槽内设置有与定位孔配合的定位凸起。

3.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具底板和夹具盖板上分别对应设置有多个定位螺丝孔，夹具底板和夹具盖板安装晶圆后通过定位螺丝固定。

4.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具基座上位于夹具安置槽外侧开设有多个取出口。

5.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具基座外沿对应开设有多个装夹口。

6.根据权利要求1所述的一种莱宝机晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具底板外沿上开设有18条排水槽，18条排水槽呈左右对称分布。