[实用新型]一种INP晶片取放装置有效

专利信息
申请号: 202222837624.1 申请日: 2022-10-27
公开(公告)号: CN218414516U 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 刘砚滨;赵中阳;赵春锋;于会永;苗连昊 申请(专利权)人: 大庆溢泰半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 黑龙江省百盾知识产权代理事务所(普通合伙) 23218 代理人: 孙淑荣
地址: 163000 黑龙江省大庆市高新区火*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 inp 晶片 装置
【权利要求书】:

1.一种INP晶片取放装置,其特征在于:包括无尘盒(5)和滑杆(8),无尘盒(5)内放置有一卷无尘膜(4),无尘盒(5)外的一侧固接有两根相互平行的插杆(1),两根插杆(1)上带有相互镜像的滑动轨道(3),所述的滑动轨道(3)包括沿插杆(1)长度方向上开设的两条直滑道(301)和一条用于连接两条直滑道(301)的换向滑道(302),所述的滑杆(8)的两端分别滑动设置在两个滑动轨道(3)内,滑杆(8)两端设置有膜夹(12),无尘盒(5)侧壁开设有用于使无尘膜(4)通过的窄缝,无尘膜(4)夹放在膜夹(12)上,在换向通道内侧的插杆(1)上设置有挡杆(9),在两根插杆(1)外侧分别设置有推拉杆(6),推拉杆(6)抵在滑杆(8)的端部,推拉杆(6)与滑杆(8)端部通过线绳连接。

2.根据权利要求1所述的一种INP晶片取放装置,其特征在于:所述的换向滑道(302)为双向环向滑道,包括互为镜像的两个斜段和两个直段,斜段连接在直段与直滑道(301)之间,两个直段中间转动设置有一个换向挡板(11),换向挡板(11)的自由端可分别吸附在两个斜段上。

3.根据权利要求1所述的一种INP晶片取放装置,其特征在于:插杆(1)外侧带有凹槽(2),推拉杆(6)在所述的凹槽(2)内滑动。

4.根据权利要求1所述的一种INP晶片取放装置,其特征在于:所述的无尘盒(5)下方带有把手一(10),插杆(1)后方带有把手二(7)。

5.根据权利要求1所述的一种INP晶片取放装置,其特征在于:所述的滑杆(8)与滑动轨道(3)之间通过滚动轴承配合。

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