[实用新型]一种石英晶体谐振器真空镀膜装置

权利要求书

1.一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)底部四角处固定连接有支架(2)，所述箱体(1)顶部左端固定连有镀膜料扩散泵箱(3)，所述镀膜料扩散泵箱(3)右侧输出端位置处固定连接有一号固定管(4)且一号固定管(4)底端贯穿箱体(1)顶部内壁并向内部延伸，所述一号固定管(4)底端固定连接有镀膜料发射头(15)，所述箱体(1)顶部右端固定连接有水泵箱(5)，所述水泵箱(5)输出端固定连接有二号固定管(6)，所述二号固定管(6)底端固定连接有软管(13)且软管(13)左端贯穿箱体(1)右侧底部并向内部延伸，所述箱体(1)右侧顶端固定连接有防护壳(12)，所述防护壳(12)内部中固定连接有真空泵(11)，所述真空泵(11)输出端固定连接有真空管(10)且真空管(10)底端贯穿箱体(1)右侧底端内壁并向内部延伸，所述箱体(1)底部右端固定连接有底壳(7)，所述箱体(1)底部中心位置处固定连接有一号电机(8)，所述一号电机(8)输出端固定连接有固定杆(16)且固定杆(16)顶端贯穿箱体(1)底部内壁并向内部延伸，所述固定杆(16)顶端固定连接有转盘(17)，所述转盘(17)顶部设置有四个均匀分布的镀膜槽(18)，所述箱体(1)底部右端固定连接有二号电机(9)，所述二号电机(9)输出端固定连接有丝杆(20)且丝杆(20)顶端贯穿箱体(1)底部内壁并向内部延伸，所述丝杆(20)顶端转动连接有固定块(22)，所述固定块(22)左侧固定连接有海绵滚筒(19)，所述固定块(22)右端偏前位置处贯穿并滑动连接有固定柱(21)且固定柱(21)底部与箱体(1)底部内壁之间固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述软管(13)与二号固定管(6)连接处之间设置有水阀门(14)。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述软管(13)左端贯穿固定块(22)顶部并与海绵滚筒(19)右端之间贯穿并固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述海绵滚筒(19)设置于转盘(17)上方。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述转盘(17)底部与箱体(1)底部内壁之间转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述一号固定管(4)和真空管(10)形状为L型。

7.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述二号固定管(6)形状为U型。

8.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述一号电机(8)和二号电机(9)设置于底壳(7)内部中。