[实用新型]一种石英晶体谐振器真空镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202222863737.9 申请日: 2022-10-29
公开(公告)号: CN219079629U 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 谢志斌 申请(专利权)人: 陕西东芯恒科电子有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/50;C23C14/56;B08B1/04
代理公司: 深圳深知通专利代理事务所(普通合伙) 44783 代理人: 高真辉
地址: 725000 陕西省安康市高*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 晶体 谐振器 真空镀膜 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,包括箱体,所述箱体顶部左端固定连有镀膜料扩散泵箱、一号固定管和镀膜料发射头,所述箱体顶部右端固定连接有水泵箱和二号固定管,所述二号固定管底端固定连接有软管,所述箱体右侧顶端设置有真空泵,所述真空泵输出端固定连接有真空管,所述箱体底部右端固定连接有底壳,所述箱体底部右端固定连接有二号电机,所述二号电机输出端固定连接有丝杆,所述丝杆顶端转动连接有固定块,所述固定块左侧固定连接有海绵滚筒,所述固定块右端偏前位置处滑动连接有固定柱。本实用新型中,通过镀膜装置本身自动对转盘表面进行清洗的工作,为工作人员带来了便利性。

技术领域

本实用新型涉及石英晶体谐振器加工技术领域,尤其涉及一种石英晶体谐振器真空镀膜装置。

背景技术

石英晶体谐振器,简称石英晶体或晶振,是利用石英晶体的压电效应,用来产生高精度振荡频率的一种电子元件,属于被动元件。石英晶体谐振器在加工的过程中需要真空镀膜装置来对石英晶体谐振器表面进行镀膜处理。

在镀膜装置对石英晶体谐振器镀膜完成后,需要对内部转盘上的杂料进行清理,在工作人员在清理的过程中因镀膜装置内部不易伸入,使工作人员对镀膜槽的清理较为麻烦,不易清理,造成工作人员的不便。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,包括箱体,所述箱体底部四角处固定连接有支架,所述箱体顶部左端固定连有镀膜料扩散泵箱,所述镀膜料扩散泵箱右侧输出端位置处固定连接有一号固定管且一号固定管底端贯穿箱体顶部内壁并向内部延伸,所述一号固定管底端固定连接有镀膜料发射头,所述箱体顶部右端固定连接有水泵箱,所述水泵箱输出端固定连接有二号固定管,所述二号固定管底端固定连接有软管且软管左端贯穿箱体右侧底部并向内部延伸,所述箱体右侧顶端固定连接有防护壳,所述防护壳内部中固定连接有真空泵,所述真空泵输出端固定连接有真空管且真空管底端贯穿箱体右侧底端内壁并向内部延伸,所述箱体底部右端固定连接有底壳,所述箱体底部中心位置处固定连接有一号电机,所述一号电机输出端固定连接有固定杆且固定杆顶端贯穿箱体底部内壁并向内部延伸,所述固定杆顶端固定连接有转盘,所述转盘顶部设置有四个均匀分布的镀膜槽,所述箱体底部右端固定连接有二号电机,所述二号电机输出端固定连接有丝杆且丝杆顶端贯穿箱体底部内壁并向内部延伸,所述丝杆顶端转动连接有固定块,所述固定块左侧固定连接有海绵滚筒,所述固定块右端偏前位置处贯穿并滑动连接有固定柱且固定柱底部与箱体底部内壁之间固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述软管与二号固定管连接处之间设置有水阀门。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述软管左端贯穿固定块顶部并与海绵滚筒右端之间贯穿并固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述海绵滚筒设置于转盘上方。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述转盘底部与箱体底部内壁之间转动连接。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述一号固定管和真空管形状为L型。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述二号固定管形状为U型。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述一号电机和二号电机设置于底壳内部中。

本实用新型具有如下有益效果:

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