[实用新型]一种兼容4至8寸的提高热蒸发镀膜均匀性的夹具

权利要求书

1.一种兼容4至8寸的提高热蒸发镀膜均匀性的夹具，夹具的周向外沿等间隔开设有多个定位孔，并通过螺丝固定于专用镀膜设备的低温台表面，其特征在于：包括环形的金属工件盘，所述金属工件盘的中心开设有孔一、孔二，且孔一两面穿透金属工件盘，孔二的开设厚度小于孔二的厚度，所述孔二的径向尺寸大于孔一的径向尺寸，以在两者接攘位置处形成台阶，所述金属工件盘上设有一平边结构，平边结构衔接于孔一和孔二的内侧，所述孔二衔接平边结构的尺寸与晶圆的尺寸适配。

2.根据权利要求1所述的一种兼容4至8寸的提高热蒸发镀膜均匀性的夹具，其特征在于：所述夹具还包括多个套环，内侧的套环尺寸小于外侧的套环，且分别适配不同晶圆的尺寸。

3.根据权利要求2所述的一种兼容4至8寸的提高热蒸发镀膜均匀性的夹具，其特征在于：每个所述套环的内侧开设有贯通的孔一，以及径向尺寸大于孔一的孔二，所述孔一的厚度大于孔二的厚度，所述套环的外侧相反于孔一和孔二方向开设有缩口，该缩口的形状与尺寸均与金属工件盘和相对外侧套环上的孔一和孔二衔接处的台阶适配。