[实用新型]真空吸附手指及晶圆搬运设备有效
申请号: | 202222901967.X | 申请日: | 2022-11-01 |
公开(公告)号: | CN218364821U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 陈思乡;杜振东;雷传;徐焕;孟恒 | 申请(专利权)人: | 长川科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | B25J15/06 | 分类号: | B25J15/06;B25J11/00 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 刘桐亚 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区金*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 吸附 手指 搬运 设备 | ||
1.一种真空吸附手指,用于搬运物料,其中物料包括物料本体及用于固定物料本体的固定支撑件,其特征在于,包括:
承载本体(1),用于承载所述物料;
和安装于所述承载本体(1)上的吸附组件(2),所述吸附组件(2)包括多个吸气端面(221),用于吸附所述固定支撑件的外周面。
2.根据权利要求1所述的真空吸附手指,其特征在于,所述吸附组件(2)包括安装块(21),所述多个吸气端面(221)间隔设于所述安装块(21)端面,所述多个吸气端面(221)形成的吸附轨迹与对应吸附的所述固定支撑件的外周面轨迹一致。
3.根据权利要求1所述的真空吸附手指,其特征在于,所述吸附组件(2)包括安装块(21)和安装于所述安装块(21)上的多个吸嘴(22),所述安装块(21)安装于所述承载本体(1)上,所述吸气端面(221)设于所述吸嘴(22)上,所述多个吸气端面(221)形成的吸附轨迹与对应吸附的所述固定支撑件的外周面轨迹一致。
4.根据权利要求2或3所述的真空吸附手指,其特征在于,所述承载本体(1)包括第一气道(11),所述安装块(21)包括第二气道(211),所述第二气道(211)与所述第一气道(11)连通,并与各个所述吸气端面(221)连通。
5.根据权利要求4所述的真空吸附手指,其特征在于,所述第二气道(211)包括主气道(2111)和多个子气道(2112),所述主气道(2111)与所述第一气道(11)连通,各个所述子气道(2112)的一端与所述主气道(2111)连通,另一端一一对应地与各个所述吸气端面(221)连通。
6.根据权利要求2或3所述的真空吸附手指,其特征在于,所述安装块(21)具有一侧弧面(212),各个所述吸气端面(221)间隔设于所述安装块(21)的侧弧面(212)上,各个所述吸气端面(221)形成弧形的吸附轨迹。
7.根据权利要求6所述的真空吸附手指,其特征在于,各个所述吸气端面(221)对应吸附的所述固定支撑件的表面为弧形。
8.根据权利要求2或3所述的真空吸附手指,其特征在于,所述吸气端面(221)为弹性吸气端面。
9.根据权利要求4所述的真空吸附手指,其特征在于,所述安装块(21)与所述承载本体(1)密封连接,以使所述第一气道(11)与所述第二气道(211)相互连接的端部与外界隔绝。
10.一种晶圆搬运设备,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的真空吸附手指,用于搬运晶圆,其中晶圆包括晶圆本体及用于固定晶圆本体的固定支撑件。
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