[实用新型]一种顶针组合机构有效
申请号: | 202222919924.4 | 申请日: | 2022-11-01 |
公开(公告)号: | CN219286367U | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 邓朝旭 | 申请(专利权)人: | 深圳市朝阳光科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人: | 吴雅丽 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 顶针 组合 机构 | ||
本实用新型提供了一种顶针组合机构,属于芯片加工技术领域,包括调节座、驱动组件以及顶针,所述调节座,用于带动所述顶针水平移动,所述驱动组件,安装在所述调节座一侧,用于带动所述顶针竖向移动,所述顶针,设置在所述驱动组件输出端,当所述顶针竖向移动时可向吸嘴方向抵靠芯片。本实用新型实施例中,通过调节座带动顶针水平移动,进而将顶针调整至固晶摆臂吸嘴一侧,随后通过驱动组件带动顶针竖向移动,以对芯片向吸嘴方向抵靠,使得固晶摆臂吸嘴能够更好的对芯片进行吸附。
技术领域
本实用新型属于芯片加工技术领域,具体是一种顶针组合机构。
背景技术
目前,芯片加工过程中需要依靠固晶摆臂吸嘴对芯片进行吸取,现有技术中,当固晶摆臂吸嘴作用于芯片时,存在固晶摆臂吸嘴与芯片之间的接触效果不佳,导致芯片的吸取稳定性较差,芯片吸取后容易发生掉落现象。
实用新型内容
针对上述现有技术的不足,本实用新型实施例要解决的技术问题是提供一种顶针组合机构。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了如下技术方案:
一种顶针组合机构,包括调节座、驱动组件以及顶针,
所述调节座,用于带动所述顶针水平移动,
所述驱动组件,安装在所述调节座一侧,用于带动所述顶针竖向移动,
所述顶针,设置在所述驱动组件输出端,当所述顶针竖向移动时可向吸嘴方向抵靠芯片。
作为本实用新型进一步的改进方案:所述调节座包括垫板、底座、X向调节板、Y向调节板、旋钮以及螺杆,
所述底座固定安装在所述垫板一侧,所述X向调节板活动设置在所述底座远离所述垫板的一侧,所述Y向调节板活动设置在所述X向调节板远离所述底座的一侧,
所述螺杆设有两组,其中一组所述螺纹杆与所述X向调节板螺纹配合,另一组所述螺杆与所述Y向调节板螺纹配合,两组所述螺杆端部均设置有所述旋钮。
作为本实用新型进一步的改进方案:所述X向调节板以及所述Y向调节板侧壁均固定设置有调节块,两组所述螺杆分别贯穿两组所述调节块并与两组所述调节块螺纹配合。
作为本实用新型进一步的改进方案:所述底座一侧还设置有固定座,所述螺杆贯穿所述固定座并与所述固定座通过轴承转动配合,所述固定座一侧还设置有顶丝杆。
作为本实用新型再进一步的改进方案:所述X向调节板与所述底座之间以及所述Y向调节板与所述X向调节板之间均设置有交叉滚子。
作为本实用新型再进一步的改进方案:所述Y向调节板与所述X向调节板之间还通过拉簧销以及拉伸弹簧相连。
作为本实用新型再进一步的改进方案:所述驱动组件包括步进电机以及设置在所述步进电机输出端的顶针夹头座,
所述步进电机固定设置在顶针马达座一侧,所述顶针一端贯穿所述顶针马达座并延伸至所述顶针马达座内部。
作为本实用新型再进一步的改进方案:所述顶针马达座内部还设置有光纤垫块、感应器以及传感器,所述顶针马达座一侧设置有光耦。
作为本实用新型再进一步的改进方案:所述顶针马达座侧壁还设置有直线轴承座,所述直线轴承座一侧安装有直线轴承,所述顶针贯穿所述直线轴承并与所述直线轴承活动配合。
作为本实用新型再进一步的改进方案:所述顶针马达座侧壁还设置有顶针调节座。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型实施例中,通过调节座带动顶针水平移动,进而将顶针调整至固晶摆臂吸嘴一侧,随后通过驱动组件带动顶针竖向移动,以对芯片向吸嘴方向抵靠,使得固晶摆臂吸嘴能够更好的对芯片进行吸附。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造