[实用新型]一种晶圆卡盘调节设备

权利要求书

1.一种晶圆卡盘调节设备，其特征在于，包括：

底板；

晶圆卡盘，其布置于所述底板上；以及

调节装置，其布置在所述晶圆卡盘的边缘处，其中所述调节装置被配置为调节所述晶圆卡盘的边缘处的高度。

2.根据权利要求1所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，包括多个调节装置，所述多个调节装置布置在所述晶圆卡盘的边缘处的不同位置，其中所述多个调节装置被配置调节所述晶圆卡盘的整体高度和水平度。

3.根据权利要求2所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述多个调节装置均匀间隔布置在所述晶圆卡盘的边缘处。

4.根据权利要求3所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述调节装置的数量大于等于3。

5.根据权利要求1所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述晶圆卡盘的边缘处具有凸起，所述调节装置布置在所述凸起处。

6.根据权利要求5所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述调节装置包括：

固定座，其布置在所述底板上；

移动座，其布置在所述底板上，并且所述移动座与所述凸起连接；以及

调节螺栓，其布置在所述固定座上，并且所述调节螺栓的栓体与所述移动座连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述移动座构造有第一斜面，所述凸起构造有第二斜面，所述第一斜面与所述第二斜面相配合，其中所述调节装置被配置为通过旋进或者旋出所述调节螺栓以使所述移动座在水平方向上移动，并且使所述第一斜面与所述第二斜面之间发生挤压作用以使所述晶圆卡盘边缘处在垂直方向上移动。

8.根据权利要求7所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述调节装置还包括：

锁紧部件，其所述锁紧部件布置在所述调节装置与所述凸起的连接处。

9.根据权利要求8所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述锁紧部件是半圆头六角锁紧部件。

10.根据权利要求1所述的晶圆卡盘调节设备，其特征在于，所述晶圆卡盘上具有多个槽。