[实用新型]一种晶圆自动清洁装置

权利要求书

1.一种晶圆自动清洁装置，其特征在于，包括：

风箱(1)，所述风箱(1)外侧箱体上设置有限位固定装置(9)，通过限位固定装置(9)将清洁装置安装在工作台上，所述风箱(1)内竖直设置有一号挡板(3)将风箱(1)箱体分成前后容积不等的两个箱体，所述一号挡板(3)一侧容积较大的一号箱体(10)内设置有离子风制造装置(5)，另一容积较小的二号箱体(11)内设置有排风结构(8)，所述排风结构(8)内的送风口(802)外连接有空气泵(806)；

清洁腔(2)，所述清洁腔(2)设置在风箱(1)上方，所述清洁腔(2)与风箱(1)间水平设有二号挡板(4)，清洁腔(2)顶部设有密封盖板(12)；

进料口(6)，所述进料口(6)设置在清洁腔(2)远离排风结构(8)方向上；

风导装置(7)，所述风导装置(7)设置在清洁腔(2)靠近离子风制造装置(5)轴向的两端上。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动清洁装置，其特征在于，所述离子风制造装置(5)包括：

控制器(501)，所述控制器(501)设置在风箱(1)底部，所述控制器(501)中设有马达带动安装在控制器(501)上方的风扇(502)转动；

风扇(502)，所述风扇(502)设置在控制器(501)上方，与下方马达中的转轴相连；

离子棒(503)，所述离子棒(503)设置在风箱(1)底部位于控制器(501)的前方靠近空气泵(806)所在的方向，所述离子棒(503)产生带有正负电荷的气流，混合风扇(502)产生的气流传递至上方清洁腔(2)内。

3.根据权利要求2所述的晶圆自动清洁装置，其特征在于，所述风导装置(7)包括：

一号Z轴导风口(701)，所述一号Z轴导风口(701)开设在二号挡板(4)上，位于风扇(502)出风口的正上方；

二号Z轴导风口(702)，所述一号Z轴导风口(701)开设在二号挡板(4)上，位于离子棒(503)出风口的正上方；

X轴风扇(703)，所述X轴风扇(703)设置在清洁腔(2)的靠近进料口(6)左右两端的腔体内侧壁上，X轴风扇(703)的出风方向与一号Z轴导风口(701)和二号Z轴导风口(702)的出风方向垂直且相交。

4.根据权利要求3所述的晶圆自动清洁装置，其特征在于，所述排风结构(8)包括：

风槽(801)，所述风槽(801)设置在一号挡板(3)右侧，所述风槽(801)靠近离子风制造装置(5)方向的槽壁(807)与一号挡板(3)相连，所述风槽(801)远离离子风制造装置(5)的一端设置有延长线相交的一对斜壁(804)；

送风口(802)，所述送风口(802)设有一对，分别设置在一对斜壁(804)上，所述送风口(802)通过排气软管(805)与后方空气泵(806)相连，通过空气泵(806)把清洁腔(2)内混合离子风抽离；

出风口(803)，所述出风口(803)设有两对，两对所述出风口(803)分别设置在清洁腔(2)远离进料口的前端壁垒上，前端呈梯型设置，所述出风口(803)沿风箱(1)中轴线对称设置辅助出风口(803)排风。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动清洁装置，其特征在于，所述限位固定装置(9)包括：

纵向固定装置(901)，所述纵向固定装置(901)通过松紧限位螺栓(902)连接L型固定块(903)固定在风箱(1)外侧出风口下方，卡设在下方机械的工作台的台阶面上；

横向限位装置(904)，所述横向限位装置(904)设有两道，所述横向限位装置(904)设置在风箱(1)平行于产品进出方向的侧壁上，通过限位槽(905)嵌入工作台的定位导轨中进行限位。