[实用新型]气相沉积炉配气系统

权利要求书

1.气相沉积炉配气系统，包括隔热套壳(3)和预热气体盒(4)，其特征在于，所述预热气体盒(4)安装固定在隔热套壳(3)的内部中间，所述预热气体盒(4)的外端穿过隔热套壳(3)设置有气相沉积炉进气管(6)，所述气相沉积炉进气管(6)的周侧设置有管道夹持器(7)，所述预热气体盒(4)的内端穿过隔热套壳(3)设置有预热气输送管(5)，所述预热气输送管(5)的周侧设置有密封炉套(9)，所述密封炉套(9)的外侧设置有气相沉积炉本体(8)，所述预热气输送管(5)的内端位于气相沉积炉本体(8)的内部设置有进气分散盘(2)，所述进气分散盘(2)的内端设置有镂空输送盖(1)，所述预热气体盒(4)与外部控制器电性连接。

2.根据权利要求1所述的气相沉积炉配气系统，其特征在于，所述管道夹持器(7)包括焊接底盘(71)、金属圆杆(72)、几型固定座(73)、几型固定盖(74)和固定螺钉(75)，所述焊接底盘(71)的外端设置有金属圆杆(72)，所述金属圆杆(72)的外端设置有几型固定座(73)，所述几型固定座(73)的外端设置有几型固定盖(74)，所述几型固定座(73)和几型固定盖(74)通过固定螺钉(75)固定连接在气相沉积炉进气管(6)上，所述焊接底盘(71)固定连接在气相沉积炉本体(8)上。

3.根据权利要求1所述的气相沉积炉配气系统，其特征在于，所述预热气体盒(4)包括中空气体盒(41)、电源连接线(42)、加热元件(43)和管道安装孔(44)，所述中空气体盒(41)的外端设置有电源连接线(42)，所述中空气体盒(41)的内部设置有加热元件(43)，所述中空气体盒(41)的内端设置有多个管道安装孔(44)，所述电源连接线(42)通过中空气体盒(41)固定连接在隔热套壳(3)上。

4.根据权利要求1所述的气相沉积炉配气系统，其特征在于，所述进气分散盘(2)包括盖体套孔(21)、中空凸盘(22)和中空盘壳体(23)，所述中空盘壳体(23)的内端阵列设置有六个中空凸盘(22)，所述中空凸盘(22)的内部设置有盖体套孔(21)，所述中空盘壳体(23)固定连接在预热气输送管(5)上，所述中空凸盘(22)固定连接在镂空输送盖(1)上。

5.根据权利要求1所述的气相沉积炉配气系统，其特征在于，所述预热气输送管(5)包括分散盘安装管(51)、中间输送管(52)和气体盒安装管(53)，所述中间输送管(52)的内端设置有分散盘安装管(51)，所述中间输送管(52)的外端设置有气体盒安装管(53)，所述气体盒安装管(53)固定连接在预热气体盒(4)上，所述分散盘安装管(51)固定连接在进气分散盘(2)上。

6.根据权利要求1所述的气相沉积炉配气系统，其特征在于，所述预热气输送管(5)共设置有六个，且所述预热气输送管(5)阵列分布在预热气体盒(4)的内端上。

7.根据权利要求1所述的气相沉积炉配气系统，其特征在于，所述隔热套壳(3)和预热气体盒(4)通过套接固定连接，且所述预热气体盒(4)套接固定在隔热套壳(3)的内部中间。