[实用新型]气相沉积炉配气系统

说明书

本实用新型公开了气相沉积炉配气系统，包括隔热套壳和预热气体盒，所述预热气体盒安装固定在隔热套壳的内部中间，所述预热气体盒的外端穿过隔热套壳设置有气相沉积炉进气管，所述气相沉积炉进气管的周侧设置有管道夹持器，所述预热气体盒的内端穿过隔热套壳设置有预热气输送管，所述预热气输送管的周侧设置有密封炉套，所述密封炉套的外侧设置有气相沉积炉本体，所述预热气输送管的内端位于气相沉积炉本体的内部设置有进气分散盘，所述进气分散盘的内端设置有镂空输送盖，所述预热气体盒与外部控制器电性连接。本实用新型公开的气相沉积炉配气系统具有预先加热输送的反应的气体，从而确保整体气相沉积炉加工品质的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及气相沉积炉配气系统。

背景技术

气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。化学气相沉积涂层致密的均匀性是影响产品质量的关键指标之一，要保证产品涂层致密的均匀性，真空化学气象沉积炉内沉积区的气氛均匀性是主要影响因素，因此工艺气体配气装置的设计合理性至关重要，供气结构布局的不足，不仅影响工艺过程的稳定性，还最严重影响产品品质。

现有气相沉积炉配气系统在进气时，冷却气体会直接进入到气相沉积炉的炉内进行反应，这样会使气相沉积炉的炉内温度在一定时间内下降，从而影响工艺的稳定性，不能有效对进入的气体进行预热，从而避免冷却气进入造成的温度快速下降，这样有效提高整体品质的问题。

实用新型内容

本实用新型公开气相沉积炉配气系统，旨在解决现有气相沉积炉配气系统在进气时不能有效预热反应气体的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

气相沉积炉配气系统，包括隔热套壳和预热气体盒，所述预热气体盒安装固定在隔热套壳的内部中间，所述预热气体盒的外端穿过隔热套壳设置有气相沉积炉进气管，所述气相沉积炉进气管的周侧设置有管道夹持器，所述预热气体盒的内端穿过隔热套壳设置有预热气输送管，所述预热气输送管的周侧设置有密封炉套，所述密封炉套的外侧设置有气相沉积炉本体，所述预热气输送管的内端位于气相沉积炉本体的内部设置有进气分散盘，所述进气分散盘的内端设置有镂空输送盖，所述预热气体盒与外部控制器电性连接。

通过设置有预热气体盒结构，使得便于预热反应气体，预热气体盒通过控制器进行供电，从而预热气体盒内部通电发热，这样有效预热反应气体，而遇到不能预热反应气体时，则外部控制器控制断电，从而正常输送反应，因预热气体盒对反应气体的预热，使得预热后的气体因预热气输送管输送到进气分散盘中，之后因进气分散盘内端的镂空输送盖输送到气相沉积炉本体中反应，因整体反应气体预先进行预热，从而有效避免内部温度的快速下降，这样有效维护气相沉积炉本体内部稳定，使得有效确保整体的质量品质。

在一个优选的方案中，所述管道夹持器包括焊接底盘、金属圆杆、几型固定座、几型固定盖和固定螺钉，所述焊接底盘的外端设置有金属圆杆，所述金属圆杆的外端设置有几型固定座，所述几型固定座的外端设置有几型固定盖，所述几型固定座和几型固定盖通过固定螺钉固定连接在气相沉积炉进气管上，所述焊接底盘固定连接在气相沉积炉本体上。

通过设置有管道夹持器结构，从而便于稳定固定夹持使用。

在一个优选的方案中，所述预热气体盒包括中空气体盒、电源连接线、加热元件和管道安装孔，所述中空气体盒的外端设置有电源连接线，所述中空气体盒的内部设置有加热元件，所述中空气体盒的内端设置有多个管道安装孔，所述电源连接线通过中空气体盒固定连接在隔热套壳上。

通过设置有预热气体盒结构，使得便于预热反应气体进行使用。

在一个优选的方案中，所述进气分散盘包括盖体套孔、中空凸盘和中空盘壳体，所述中空盘壳体的内端阵列设置有六个中空凸盘，所述中空凸盘的内部设置有盖体套孔，所述中空盘壳体固定连接在预热气输送管上，所述中空凸盘固定连接在镂空输送盖上。