[实用新型]一种自动化硅片清洗机

权利要求书

1.一种自动化硅片清洗机，包括：清洁台(1)，清洁台(1)的中部开设有清洁池(2)，清洁池(2)内连接有循环系统，清洁池(2)中安装有超声波清洁组件，其特征在于：还包括：

入料机构，其包括设置在清洁池(2)上方的U型框(3)、以及与U型框(3)相卡接的储料框(11)，且储料框(11)的上端通过挂架(9)与U型框(3)相卡接，U型框(3)的两侧通过支撑杆(4)与清洁台(1)转动连接；

自动送料机构，其包括与U型框(3)平行设置的送料杆(6)、以及设置在挂架(9)两侧的推送机构，推送机构的输出端通过卡接板(8)与挂架(9)相卡接。

2.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗机，其特征在于：支撑杆(4)的一端通过齿轮组连接有驱动电机(5)。

3.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗机，其特征在于：挂架(9)的上端一侧靠近U型框(3)的一侧开设有挂料口(13)，挂架(9)的另一侧下端开设有送料口(14)，且送料杆(6)位于送料口(14)的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种自动化硅片清洗机，其特征在于：推送机构包括位于挂架(9)两侧的送料气缸(7)和回料气缸(10)，送料气缸(7)安装在挂架(9)远离挂料口(13)的一侧，回料气缸(10)安装在挂架(9)远离送料口(14)的一侧。

5.根据权利要求4所述的一种自动化硅片清洗机，其特征在于：送料气缸(7)和回料气缸(10)的输出端均固定连接有卡接板(8)，卡接板(8)通过销杆与挂架(9)相卡接。

6.根据权利要求3所述的一种自动化硅片清洗机，其特征在于：U型框(3)与挂架(9)对应位置开设有环形凹槽(12)，挂料口(13)和送料口(14)的顶部外侧设置有限位凸块(15)。

7.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗机，其特征在于：循环系统包括循环管道，循环管道的中部安装有循环泵，循环管道的输入端与清洁池(2)的底部相连通，循环管道的输出端与清洁池(2)的上端相连通。

8.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗机，其特征在于：储料框(11)上竖直设置有多个平行的卡槽。