[实用新型]一种石墨块以及运用石墨块的石墨舟有效
申请号: | 202223054710.1 | 申请日: | 2022-11-17 |
公开(公告)号: | CN219513062U | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 刘珏浩;林佳继;朱太荣;刘群 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 潘登 |
地址: | 518122 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 以及 运用 | ||
1.一种石墨块,其特征在于,所述石墨块连接在石墨舟的两个石墨舟片之间,且所述石墨块具有至少两个平行设置的槽;其中:
沿所述石墨舟的长度方向,所述槽靠近所述石墨舟上的硅片的一端封闭,所述槽不延伸至所述石墨块靠近所述硅片的一面。
2.根据权利要求1所述的石墨块,其特征在于,所述石墨块设置为长方体结构,且包括两组第一面、第二面以及第三面,第二面以及第三面沿所述石墨块的高度方向设置,两组所述第一面上固设有贯穿孔,所述槽与所述第一面平行设置。
3.根据权利要求2所述的石墨块,其特征在于,所述槽沿竖直方向向上或向下贯穿第二面以及沿水平方向向左或向右贯穿第三面,所述槽在所述第二面上形成第一槽口,在所述第三面上形成第二槽口,所述第一槽口的长度小于第二面的长度,所述第二槽口的长度小于第三面的长度。
4.根据权利要求3所述的石墨块,其特征在于,所述第一槽口的封闭端的端面为第一弧形面,第二槽口的封闭端的端面为第二弧形面。
5.一种运用石墨块的石墨舟,其特征在于,包括石墨舟片组、石墨舟外片、连接杆、固定组件以及卡点,固定组件包括多组如权利要求1-4中任一项所述的石墨块,石墨舟片组设置有硅片安装孔,卡点用于将硅片安装在硅片安装孔。
6.根据权利要求5所述的运用石墨块的石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片组包括第一舟片和第二舟片,第一舟片和第二舟片交错平行分布,第一舟片设置有多组第一孔,多组第一孔沿第一舟片的长度方向间隔分布,第一孔设置为通孔结构,第一孔的周侧设置有第一卡孔,第一卡孔分布在第一孔的不同方向,卡点安装在第一卡孔用于在第一孔的正面以及背面对硅片进行固定,第一舟片的上下方分别固设有若干第一固定孔,若干第一固定孔沿第一舟片的长度方向间隔分布;第一舟片的两端分别固设有第一耳部,两组第一耳部分别位于第一舟片的上端。
7.根据权利要求6所述的运用石墨块的石墨舟,其特征在于,所述第二舟片设置有多组第二孔,多组第二孔沿第二舟片的长度方向间隔分布,第二孔设置为通孔结构,第二孔的周侧设置有第二卡孔,第二卡孔分布在第二孔的不同方向,卡点安装在第二卡孔在第二孔的正面以及背面对硅片进行固定,第二舟片的上下方分别固设有若干第二固定孔,若干第二固定孔沿第二舟片的长度方向间隔分布;第二舟片的两端分别固设有第二耳部,两组第二耳部分别位于第二舟片的下端。
8.根据权利要求7所述的运用石墨块的石墨舟,其特征在于,所述石墨舟外片设置有两组,石墨舟外片与石墨舟片组平行设置,且石墨舟片组位于两组石墨舟外片之间,石墨舟外片固设有外片孔,外片孔为内凹结构,外片孔与第一孔以及第二孔相配,石墨舟外片的外片孔周侧还固设有外片固定孔和外片卡孔,卡点安装在外片卡孔将硅片固定在外片孔,外片固定孔与第一固定孔以及第二固定孔一一对应,连接杆依次插入外片固定孔、第一固定孔以及第二固定孔并将石墨舟片组与石墨舟外片固定连接;所述第一孔、第二孔以及外片孔形成用于安装硅片的硅片安装孔,所述第一孔的宽度方向与第一舟片的长度方向相配,第一孔的长度方向与第一舟片的宽度方向相配,第二孔的宽度方向与第二舟片的长度方向相配,第二孔的长度方向与第二舟片的宽度方向相配,石墨舟外片的长度方向与石墨舟片组的长度方向相配,石墨舟外片的宽度方向与石墨舟片组的宽度方向相配,外片孔的宽度方向与石墨舟外片的长度方向相配,外片孔的长度方向与石墨舟外片的宽度方向相配。
9.根据权利要求7所述的运用石墨块的石墨舟,其特征在于,所述连接杆包括贯穿杆和固定螺母,贯穿杆贯穿外片固定孔、第一固定孔以及第二固定孔,贯穿杆上套设有隔离件,隔离件且位于第一舟片与第二舟片、石墨舟片组与石墨舟外片之间,使第一舟片与第二舟片等间距分布,并将石墨舟片组与石墨舟外片进行隔离,固定螺母位于贯穿杆的两端,通过固定螺母将石墨舟片组以及石墨舟外片固定连接。
10.根据权利要求7所述的运用石墨块的石墨舟,其特征在于,所述固定组件包括第一固定件和第二固定件,第一固定件通过连接杆将若干第一舟片的第一耳部固定连接,第二固定件通过连接杆将若干第二舟片的第二耳部固定连接,第一固定件和第二固定件分别包括多组石墨块,石墨块的槽开口方向背离石墨舟片组。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造