[实用新型]一种真空溅镀防着板有效
申请号: | 202223065305.X | 申请日: | 2022-11-18 |
公开(公告)号: | CN219195109U | 公开(公告)日: | 2023-06-16 |
发明(设计)人: | 张炎 | 申请(专利权)人: | 苏州佰圣康精密机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人: | 于海英 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 防着 | ||
1.一种真空溅镀防着板,包括真空溅镀机罩(1)和防着板(2),其特征在于:所述真空溅镀机罩(1)的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架(4)和后组装框架(3),所述后组装框架(3)内的后端设有固定横杆(15),所述侧组装框架(4)内的上下端分别设有侧排位槽(9),所述侧排位槽(9)的内部的前端设有侧拆装槽口(7),且侧拆装槽口(7)的数量不少于两个,所述后组装框架(3)内的上下端分别设有后排位槽(11),所述后排位槽(11)的内部的两侧均设有后拆装槽口(12),且后拆装槽口(12)的数量不少于四个,所述防着板(2)通过拆装滑块(10)连接分别设在侧组装框架(4)和后组装框架(3)的内部,所述防着板(2)的四周设有防着板定型框(18),所述防着板定型框(18)的后端的四个角的位置处设有定位角板(19),所述防着板定型框(18)的后端的两侧的中间位置设有卡柱(20),所述侧组装框架(4)的底部设有安装底板(5)。
2.根据权利要求1所述的一种真空溅镀防着板,其特征在于:所述后组装框架(3)与侧组装框架(4)通过固定卡块(14)与固定卡槽(6)镶嵌连接,且侧组装框架(4)与安装底板(5)连接呈L型结构。
3.根据权利要求1所述的一种真空溅镀防着板,其特征在于:所述安装底板(5)与真空溅镀机罩(1)通过固定螺栓(17)固定连接,且固定螺栓(17)的数量不少于四个。
4.根据权利要求1所述的一种真空溅镀防着板,其特征在于:所述防着板(2)的表面设有凹凸层(16),且防着板(2)与防着板定型框(18)通过定位角板(19)卡嵌连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空溅镀防着板,其特征在于:所述侧排位槽(9)的表面位于侧拆装槽口(7)的一侧侧设有第一定位锁杆(8),所述第一定位锁杆(8)与侧排位槽(9)通过销轴旋转连接,且侧拆装槽口(7)和后拆装槽口(12)均设为梯形结构。
6.根据权利要求1所述的一种真空溅镀防着板,其特征在于:所述后排位槽(11)的表面位于后拆装槽口(12)的一侧设有第二定位锁杆(13),且第二定位锁杆(13)与后排位槽(11)通过销轴旋转连接。
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