[实用新型]一种真空溅镀防着板

说明书

本实用新型公开了一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩和防着板，所述真空溅镀机罩的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架和后组装框架，所述后组装框架内的后端设有固定横杆，所述侧组装框架内的上下端分别设有侧排位槽，所述侧排位槽的内部的前端设有侧拆装槽口，且侧拆装槽口的数量不少于两个，所述后组装框架内的上下端分别设有后排位槽。该实用新型中的防着板属于拼接式安装，第一次安装，需要使用固定螺栓将安装底板固定在设备内部的两侧，使侧组装框架与设备的内壁紧密贴合，且后组装框架是通过固定卡块与固定卡槽连接将其组装固定，不需要使用螺栓或其它繁琐的固定方式，安装更省力。

技术领域

本实用新型涉及真空溅镀相关领域，具体为一种真空溅镀防着板。

背景技术

真空溅镀就是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜，溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法，为了避免溅镀材料对内腔进行污染，在真空溅镀的内腔内，会附加一层防着板，主要对内腔进行保护。

真空溅镀防着板在长期使用后，表面会沉积大量的材料，需要定期进行清理，清理的过程需要将防着板进行拆卸，每次拆卸都需要将螺栓一颗一颗拆掉，步骤较多，需要借助工具才能完成，且真空溅镀室内空间较大，对于后端的防着板拆卸，更是费力，位置比较难操作，每次对防着板清理或更换都会浪费大量的时间和精力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空溅镀防着板，以解决上述背景技术中提出的真空溅镀防着板在长期使用后，表面会沉积大量的材料，需要定期进行清理，清理的过程需要将防着板进行拆卸，每次拆卸都需要将螺栓一颗一颗拆掉，步骤较多，需要借助工具才能完成，且真空溅镀室内空间较大，对于后端的防着板拆卸，更是费力，位置比较难操作，每次对防着板清理或更换都会浪费大量的时间和精力的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空溅镀防着板，包括真空溅镀机罩和防着板，所述真空溅镀机罩的内部的两侧和后端分别设有侧组装框架和后组装框架，所述后组装框架内的后端设有固定横杆，所述侧组装框架内的上下端分别设有侧排位槽，所述侧排位槽的内部的前端设有侧拆装槽口，且侧拆装槽口的数量不少于两个，所述后组装框架内的上下端分别设有后排位槽，所述后排位槽的内部的两侧均设有后拆装槽口，且后拆装槽口的数量不少于四个，所述防着板通过拆装滑块连接分别设在侧组装框架和后组装框架的内部，所述防着板的四周设有防着板定型框，所述防着板定型框的后端的四个角的位置处设有定位角板，所述防着板定型框的后端的两侧的中间位置设有卡柱，所述侧组装框架的底部设有安装底板。

在进一步的实施例中，所述后组装框架与侧组装框架通过固定卡块与固定卡槽镶嵌连接，且侧组装框架与安装底板连接呈L型结构。

在进一步的实施例中，所述安装底板与真空溅镀机罩通过固定螺栓固定连接，且固定螺栓的数量不少于四个。

在进一步的实施例中，所述防着板的表面设有凹凸层，且防着板与防着板定型框通过定位角板卡嵌连接。

在进一步的实施例中，所述侧排位槽的表面位于侧拆装槽口的一侧侧设有第一定位锁杆，所述第一定位锁杆与侧排位槽通过销轴旋转连接，且侧拆装槽口和后拆装槽口均设为梯形结构。

在进一步的实施例中，所述后排位槽的表面位于后拆装槽口的一侧设有第二定位锁杆，且第二定位锁杆与后排位槽通过销轴旋转连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：