[实用新型]激光打标防泄漏机构以及半导体生产线

说明书

本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种激光打标防泄漏机构以及半导体生产线。加工台上放置基板，密封组件包括均被加工台密封的第一槽体和第二槽体，第二槽体围设在第一槽体外并与第一槽体形成隔绝空间，隔绝空间内放有感应器，进气管和出气管能将第一槽体内的粉尘和气体带走。通过在真空的隔绝空间内放入感应器，外界空气进入隔绝空间或密封空间的空气进入隔绝空间中，感应器报警，第一槽体产生的气体或粉尘进入到隔绝空间中，而未进入到大气中，保证操作者的人身安全和健康。该半导体生产线能够彻底防止人吸入粉尘和气体，保障人身安全和健康。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种激光打标防泄漏机构以及半导体生产线。

背景技术

在半导体行业中，晶圆厂为了实现生产的产品具有可追溯性，会在基板线切割后进行打标；随着行业的发展，砷元素掺杂硅基板逐渐被市场需求，但激光在掺砷硅片表面加工，会生成含砷的气体及粉尘，被人体吸入后会人体的健康造成伤害，现有的激光打标防泄漏机构虽然对打标环境进行密封处理，但是此密封环境如遇密封不良等情况后不再密封，工作人员也无法发现，导致操作者在不知情的情况下继续对基板进行打标，使得操作者在工作时吸入含砷的粉尘和气体，对人体的健康造成影响，甚至对身体造成不可逆的损伤，这在实际生产中时绝对不允许的。

因此，亟需设计一种激光打标防泄漏机构以及半导体生产线，以彻底杜绝基板打标时产生的粉尘和气体泄漏被人体吸入的情况。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提供一种激光打标防泄漏机构，能够对密封环境向外泄漏气体进行监控，即使密封环境泄漏依然对气体和粉尘有阻挡作用不会使气体和粉尘泄漏到大气中。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

激光打标防泄漏机构，用于辅助基板打标，上述激光打标防泄漏机构包括：

加工台，用于承载上述基板；

密封组件，包括第一槽体和第二槽体，上述第一槽体能被上述加工台密封，上述基板位于上述第一槽体内；上述第二槽体围设在上述第一槽体外部，上述第二槽体能被上述加工台密封，上述第一槽体与上述第二槽体之间形成隔绝空间；

抽真空管，穿设于上述第二槽体，上述抽真空管与上述第二槽体连接处密封设置，上述抽真空管一端与上述隔绝空间连通，上述抽真空管一端与真空设备连接以使上述隔绝空间真空；

感应器，设置于上述隔绝空间内并在上述隔绝空间处于非真空状态报警；

进气管，与上述第一槽体内部连通；以及

出气管，与上述第一槽体内部连通，气体能从上述进气管进入并从上述出气管吹出。

作为优选方案，上述第一槽体与上述第二槽体共用一个槽底，上述第一槽体和上述第二槽体的槽底材质为透光材质。

作为优选方案，上述槽底分别与上述第一槽体的侧壁以及上述第二槽体的侧壁粘接密封。

作为优选方案，上述激光打标防泄漏机构还包括驱动件，上述密封组件或上述加工台与上述驱动件的输出端传动连接，上述驱动件用于驱动上述加工台与上述密封组件抵接以密封上述第一槽体和上述第二槽体。

作为优选方案，上述第一槽体和第二槽体均为圆柱体且同轴设置。

作为优选方案，加工台由橡胶材质制成。

作为优选方案，上述加工台包括：

底座，能密封上述第一槽体和上述第二槽体；以及

凸台，凸设于上述底座上，上述基板能放置于上述凸台上。

作为优选方案，上述感应器为气压感应器。

作为优选方案，上述进气管的高度高于上述出气管的高度。